• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР01-1710
    Новоселов, К. П. Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / К. П. Новоселов. - М. : [б. и.], 2000. - 14 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 14 (3 назв.)
    ГРНТИ УДК
    45.09.37621.315.61-416.002(043)
    Экз-ры полностью АР01-1710
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽