• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР01-870
    Марков, К. А. Стимулирование синтеза диэлектрических слоев в кремнии дальнодействующим ионным облучением : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / К. А. Марков. - Н. Новгород : [б. и.], 2000. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 14-16
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.9-047.84(043)
    Экз-ры полностью АР01-870
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽