• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар14-5607
    Свиташева, С. Н. Развитие метода эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 / С. Н. Свиташева. - Новосибирск : [б. и.], 2014. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 28-32 . - 100 экз. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    29.19.33537.226:539.216.2(043)
    29.19.31537.311.322:539.216.2(043)
    53.49.01669.017:539.216.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): наноразмерные пленки -- оптические свойства -- морфология -- шероховатость
    Аннотация: Показан метод эллипсометрии и повышении его го точности для наноразмерных пленок полупроводников и металлов, неоднородных по составу окислов металлов и диэлектриков, в разработке методов установления корреляционных зависимостей оптических свойств от состава и от морфологии (включая шероховатость разного масштаба) поверхности.Экз-ры полностью Ар14-5607
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽