• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар14-3316
    Тарала, В. А. Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.07 / В. А. Тарала. - Нальчик : [б. и.], 2013. - 39 с. : ил. - Библиогр.: с. 35-39. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    61.31.51661.666.2-416(043)
    61.31.47661.665.1-416(043)

    Кл.слова (ненормированные): кремний -- германий -- арсенид галлия
    Аннотация: Определение физико-химических принципов получения аморфных и кристаллических пленок углерода и карбида кремния с заданными свойствами, составом и микроструктурой при их выращивании методами химического и плазмохимического осаждения. Экз-ры полностью Ар14-3316
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽