• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР00-7971
    Батов, Д. В. Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.16.03 / Д. В. Батов. - М. : [б. и.], 2000. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 21-22(8 назв.)
    ГРНТИ УДК
    61.31.47661.665.1(043)
    Экз-ры полностью АР00-7971
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽