Полное описание
>
621.3.049.76-047./621.3.049.76-047./
Гаврилов, С. А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - 2-е изд. - М. : РИОР : Инфра-М, 2014. - 239 с. : ил. - (Высшее образование - Бакалавриат). - Библиогр.: с. 235-236 (26 назв.). - 700 экз. - ISBN 978-5-369-01299-4 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84 | |
| 47.33.31 | 621.384-022.532-047.84 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство
Аннотация: Приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологий.
Доп. точки доступа:
Белов, А.Н.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: фо25
Обложка
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2009. - 257 с. - Текст : непосредственный.Сплетухов Ю.А. Страхование : учеб. пособие / Ю. А. Сплетухов, Е. Ф. Дюжиков, 2012. - 356 с. - Текст : непосредственный.Бухгалтерская (финансовая) отчетность : учеб. пособие / Ю. И. Сигидов [и др.]; под ред. Ю. И. Сигидова, А. И. Трубилина, 2013. - 365 с. - Текст : непосредственный.Теория статистики : учебник / Г. Л. Громыко [и др.]; под ред. Г. Л. Громыко, 2012. - 475 с. - Текст : непосредственный.Вытовтов А.А. Товароведение и экспертиза вкусовых товаров : учебник / А. А. Вытовтов, 2012. - 575 с. - Текст : непосредственный.Красс М.С. Математика для экономического бакалавриата : учебник / М. С. Красс, Б. П. Чупрынов, 2012. - 471 с. - Текст : непосредственный.Степанов В.И. Логистика производства : учеб. пособие / В. И. Степанов, 2012. - 199 с. - Текст : непосредственный.Кожевина О.В. Управление изменениями : учеб. пособие / О. В. Кожевина, 2012. - 285 с. - Текст : непосредственный.Нижников С.А. Философия : учебник / С. А. Нижников, 2012. - 460 с. - Текст : непосредственный.Социология. Общий курс : учебник / В. И. Кандауров [и др.], 2012. - 331 с.Шеремет, Анатолий Данилович. Бухгалтерский учет и анализ : учебник / А. Д. Шеремет, Е. В. Старовойтова ; под общ. ред. А. Д. Шеремета, 2012. - 617 с. - Текст : непосредственный.Семехин Ю.Г. Безопасность жизнедеятельности : учебник / Ю. Г. Семехин ; под общ. ред. Б. Ч. Месхи, 2012. - 287 с. - Текст : непосредственный.Федоренко И.В. Аудит : учебник / И. В. Федоренко, Г. И. Золотарева, 2012. - 272 с. - Текст : непосредственный.Разумов В.А. Экология : учеб. пособие / В. А. Разумов, 2012. - 295 с. - Текст : непосредственный.Игебаева Ф.А. Социология : учеб. пособие / Ф. А. Игебаева, 2012. - 235 с. - Текст : непосредственный.Казакова Н.А. Маркетинговый анализ : учеб. пособие / Н. А. Казакова, 2012. - 240 с. - Текст : непосредственный.Логинова Н.А. Экономическая синергетика : учебник / Н. А. Логинова, 2012. - 127 с. - Текст : непосредственный.Колмыкова Т.С. Инвестиционный анализ : учеб. пособие / Т. С. Колмыкова, 2012. - 203 с. - Текст : непосредственный.Мелкумов Я.С. Финансовые вычисления. Теория и практика : учеб.-спр. пособие / Я. С. Мелкумов, 2012. - 407 с. - Текст : непосредственный.Управление персоналом. Программы учебных дисциплин, практик, государственного экзамена : учеб. пособие / А. Я. Кибанов [и др.]; под ред. А. Я. Кибанова, 2012. - 505 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыНитрид алюминия и область его применения / ЦНИИТЭСТРОЙМАШ. - 14 с. - Текст : непосредственный.Схема разработки топологии СБИС / ВЦП МР. - 17 с. - Текст : непосредственный.Многополюсная модель схемы для оценок потери излучения и паразитной связи между нарушениями непрерывности в микрополосковых церях / ВЦП КР. - 16 с. - Текст : непосредственный.Химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Плюсы и минусы полифенилхининоксалина (ПФХ) / ВЦП. - 11 c. - Текст : непосредственный.Исследования в области ИС ЗУ различных видов и поколений. Выбор ИС при проектировании систем и указания по их применению. Ч.3,4 / ВЦП. - 107 c. - Текст : непосредственный.Технические данные / ВЦП. - 48 c. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Левицкий Д.О. Методы логико-динамического и логико-структурного диагностирования матричных КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Д. О. Левицкий, 1991. - 25 с. - Текст : непосредственный.Ефанов В.А. Организация процесса трассировки матричных БИС и СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.13:05.13.12 / В. А. Ефанов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.Исюк В.И. Разработка математических и программных средств функционально-логического моделирования и тестирования КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.16 / В. И. Исюк, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Семенов Н.Е. Оптимизация методов проектирования топологии кристаллов с линейчатой структурой : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Н. Е. Семенов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Шелепин Н.А. Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / Н. А. Шелепин, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Абачев М.К. Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогеносодержащих газах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. К. Абачев, 1990. - 26 с. - Текст : непосредственный.Мануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Сидоренко П.В. Исследование и разработка интегрированной САПР аналоговых БИС на БМК : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / П. В. Сидоренко, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Букунов С.В. Моделирование и исследование субмикронных транзисторных структур для монолитных интегральных схем СВЧ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / С. В. Букунов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыКурбанов Х. Разработка, исследование и освоение технологии производства изделий из коррозионно-стойких сплавов на основе алюминия методами пластического деформирования для микроэлектроники и электротехники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.16.05 / Х. Курбанов, 1991. - 39 с. - Текст : непосредственный.Редин В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин, 1992. - 41 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Веденин К.В. Моделирование процессов информационного обеспечения микроэлектронной технологии с применением методов искусственного интеллекта : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.16 / К. В. Веденин, 2000. - 18 с. - Текст : непосредственный.Бархоткин А.В. Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.07 / А. В. Бархоткин, 1999. - 28 с. - Текст : непосредственный.Никишина С.В. Исследование и моделирование процессов накопления, обработки и анализа массивов технологических данных в области микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.18 / С. В. Никишина, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный.Абрамова Л.С. Разработка элементов и устройств системы управления процессом порезки щелочногалоидных монокристаллов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.05 / Л. С. Абрамова, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Microprocess : The 6th(5th intern.)microprocess conf.,Hiroshima,19-22 July,1993 / MPS 93, 1993. - 5823-6300 p. p.NANOLITHOGRAPHY: a borderland between STM,EB,IB,and X-ray lithographies : Proc.of the NATO advanced research workshop on NANOLITHOGRAPHY..Roma,Apr.6-8,1993 / ed. M. Gentili, 1994. - VIII,215 p. p. - Текст : непосредственный.Бессараб А.Б. Автоматизированные системы управления в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие / А.Б.Бессараб, 1995. - 192 c. - Текст : непосредственный.The 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный.MicroProcess : The 5th (4th intern.) microprocess conf.,Kanagawa,13-16 July 1992 / MPC 92, 1992. - 4103-4585 p. p.Adaption eines elektronischen Laborbuchs (Elab) an ein objektorientiertes Datenbank-Management-System / K.-U.Stucky,H.Eggert,A.Schmidt,R.Reiger, 1997. - 141 S. - Текст : непосредственный.Голубев, Н. Ф. Радиационные процессы в микроэлектронике. Ч. 1 : Физические основы и применение радиационно-термических процессов в технологии биполярных микроприборов, 1991. - 43 с. - Текст : непосредственный.Емельянов В.М. Автоматизация управления надежностными, физико-механическими и электрическими параметрами межсоединений интегрированной микроэлектронной аппаратуры / В.М.Емельянов, 1998. - 310 с. - Текст : непосредственный.Karthaus J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher, 2000. - VIII,121 S. S. - Текст : непосредственный.Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / А.А. Сазонов, Р.В. Корнилов, Н.П. Кохан и др.; Под ред. А. А. Сазонова, 1991. - 334 c. - Текст : непосредственный.Мир материалов и технологий. 6(14) : Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Д. М. Мартинес-Дуарт, Р. Д. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда; пер. с англ. А. В. Хачояна; под ред. Е. Б. Якимова, 2007. - 367 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7286 : Nanokontaktdrucken mit AFM-gesteuert phasenseparierten Blockcopolymerschichten : Diss. / R. Groger, 2007. - VI, 130 S. - Текст : непосредственный.Зайцев Н.Г. Аппаратно-программный комплекс для автоматизации технологического процесса производства приборов микро- и оптоэлектроники : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.13.06 / Н. Г. Зайцев, 2007. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽
