• ВХОД
  •  

    Полное описание

    М/67641/7/1
    Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - . - Текст : непосредственный.
    7, Т. 1 : Микроинженерия монокристаллического кремния / Н. Н. Балан [и др.]. - 2013. - 193 с. : ил. - Библиогр.: с. 162-190 (269 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-905872-14-3 : Б. ц.
    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:548.5

    Рубрики:
    Кремний -- Кристаллизация

    Доп. точки доступа:
    Балан, Н.Н.
    Васин, В.А.
    Ивашов, Е.Н.
    Степанчиков, С.В.
    Экз-ры полностью М/67641/7/1
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽