Приложение
для AndroidПолное описание
Мануйлов, В. В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов. - М. : [б. и.], 1991. - 21 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: НИИ физ.пробл. Библиогр.: с. 20-21(11назв.).
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.33.31 | 621.3.049.77-047.84:776(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкфш. Шифр МФ
Нитрид алюминия и область его применения / ЦНИИТЭСТРОЙМАШ. - 14 с. - Текст : непосредственный.Схема разработки топологии СБИС / ВЦП МР. - 17 с. - Текст : непосредственный.Многополюсная модель схемы для оценок потери излучения и паразитной связи между нарушениями непрерывности в микрополосковых церях / ВЦП КР. - 16 с. - Текст : непосредственный.Плюсы и минусы полифенилхининоксалина (ПФХ) / ВЦП. - 11 c. - Текст : непосредственный.Исследования в области ИС ЗУ различных видов и поколений. Выбор ИС при проектировании систем и указания по их применению. Ч.3,4 / ВЦП. - 107 c. - Текст : непосредственный.Технические данные / ВЦП. - 48 c. - Текст : непосредственный.Левицкий Д.О. Методы логико-динамического и логико-структурного диагностирования матричных КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Д. О. Левицкий, 1991. - 25 с. - Текст : непосредственный.Ефанов В.А. Организация процесса трассировки матричных БИС и СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.13:05.13.12 / В. А. Ефанов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.Исюк В.И. Разработка математических и программных средств функционально-логического моделирования и тестирования КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.16 / В. И. Исюк, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Семенов Н.Е. Оптимизация методов проектирования топологии кристаллов с линейчатой структурой : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Н. Е. Семенов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Шелепин Н.А. Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / Н. А. Шелепин, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Абачев М.К. Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогеносодержащих газах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. К. Абачев, 1990. - 26 с. - Текст : непосредственный.Мануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Сидоренко П.В. Исследование и разработка интегрированной САПР аналоговых БИС на БМК : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / П. В. Сидоренко, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Букунов С.В. Моделирование и исследование субмикронных транзисторных структур для монолитных интегральных схем СВЧ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / С. В. Букунов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Бачурин В.И. Управление параметрами линейных интегральных схем топологией инжекционных структур с использованием САПР : Дис..д-ра техн.наук в форме науч.докл.:05.13.01:05.13.12 / В. И. Бачурин, 1991. - 38 с. - Текст : непосредственный.Романовский П.Г. Оптимизация метода моделируемого отжига при проектировании топологии интегральных схем на параллельной вычислительной системе с динамическим распределением задач : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / П. Г. Романовский, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Золотухина О.М. Причины разрушения кремниевых кристаллов БИС после монтажа в металлокерамические корпуса с применением золото-кремниевой эвтектики и их устранение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / О. М. Золотухина, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Гындя С.И. Исследование и разработка способов создания и применения аппаратных ускорителей при моделировании ЦУ БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / С. И. Гындя, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.Матвеева Н.К. Фото-и электронорезисты на основе полимерных лэнгмюровских пленок.Получение,свойства и применение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.17.06 / Н. К. Матвеева, 1992. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. П. Михайлов, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Архангельский А.Б. Разработка высокопроизводительных алгоритмов и инструментальных средств подготовки управляющих программ для фотонаборных установок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13:05.13.16 / А. Б. Архангельский, 1995. - 24 с. - Текст : непосредственный.Кольцов Ю.И. Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.04 / Ю. И. Кольцов, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный.Борзенко Т.Б. Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / Т. Б. Борзенко, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный.Кривоспицкий А.Д. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / А. Д. Кривоспицкий, 1997. - 38 с. - Текст : непосредственный.Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Балашов В.Н. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / В. Н. Балашов, 1998. - 39 с. - Текст : непосредственный.Гайнуллина Н.Р. Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21 / Н. Р. Гайнуллина, 1998. - 15 с. - Текст : непосредственный.Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный.Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный.Мальцев В.П. Адгезия фоторезистов и ее влияние на процессы фотолитографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. П. Мальцев, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Гайфуллин Б.Н. Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Диссертация на соискание ученой степени канд.техн.наук в форме науч.докл.:05.13.18 / Б. Н. Гайфуллин, 2000. - 33 л. - Текст : непосредственный.Ивин В.В. Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный.Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный.Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.Соколов Д.В. Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.01 / Д. В. Соколов, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Прудник А.М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽