• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР00-5131
    Скворцов, А. М. Дефектообразование и технологии создания кремниевых подложек для интегральных схем вычислительной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.13.05 / А. М. Скворцов. - СПб : [б. и.], 1999. - 75 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.:с. 70-75
    ГРНТИ УДК
    50.09004.38'144:621.3.049.77(043)
    Экз-ры полностью АР00-5131
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽