Приложение
для AndroidПолное описание
Юрчук, С. Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций / С. Ю. Юрчук. - М. : МИСИС, 2013. - 44 с. : ил. - Библиогр.: с. 44. - 80 экз. - ISBN 978-5-87623-662-3 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 81.13.30 | 620.3-047.58 | |
| 81.09.03 | 620.22-022.532-047.58 | |
| 29.19.03 | 538.91-022.532-047.58 |
Рубрики:
Нанотехнологии -- Моделирование
Наноструктурные материалы -- Моделирование
Наноструктуры -- Моделирование
Аннотация: Описаны основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Правила транспортировки специальных отходов / ВЦП. - 31 с. - Текст : непосредственный.Руководство по экологически опасным веществам / ВЦП. - 91 с. - Текст : непосредственный.Хайруллин И.И. Электронные и спиновые свойства низкоразмерных проводящих систем различной микроструктуры(ЭПР исследование) : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.13 / И. И. Хайруллин, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Кособукин В.А. Коллективные возбуждения в системах пониженной размерности : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.07 / В. А. Кособукин, 1991. - 34 с. - Текст : непосредственный.Полищук А.Я. Термодинамические и кинетические свойства электронов в плотных неупорядоченных средах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-математ.наук:01.04.14 / А. Я. Полищук, 1991. - 32 с. - Текст : непосредственный.Ермаков В.Н. Нелинейный транспорт в конденсированных средах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук:01.04.07 / В. Н. Ермаков, 1991. - 27 с. - Текст : непосредственный.Возяков В.И. Коллективные эффекты в квантовых кристаллизующихся системах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.02 / В. И. Возяков, 1991. - 17 с. - Текст : непосредственный.Марсагишвили Т.А. Кинетика и оптическая спектроскопия процессов переноса и фотопереноса заряда в нерегулярных конденсированных системах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.17 / Т. А. Марсагишвили, 1991. - 45 с. - Текст : непосредственный.Засуха В.А. Внутри-и межкомплексные переходы в конденсированных средах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:02.00.04 / В. А. Засуха, 1991. - 38 с. - Текст : непосредственный.Кочарян А.Н. Коллективные эффекты в системе сильно коррелированных электронов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.02 / А. Н. Кочарян, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный.Джепаров Ф.С. Кинетика неупорядоченных систем и бета-ЯМР спектроскопия : Дис. ..д-ра физ.-мат.наук в форме науч.докл.:01.04.02 / Ф. С. Джепаров, 1991. - 67 с. - Текст : непосредственный.Глазкова Л.Ю. Эффективная теплопроводность ряда упорядоченных и хаотических волокнистых материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.14 / Л. Ю. Глазкова, 1991. - 20 с. - Текст : непосредственный.Нгуен Динь Дык.Критерий прочности для однонаправленного волокнистого композита : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.02.04 / Нгуен Динь Дык, 1991. - 9 с. - Текст : непосредственный.Сопенко С.И. Трещиностойкость хрупких неметаллических материалов при нормальной и высоких температурах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.02.06 / С. И. Сопенко, 1991. - 17 с. - Текст : непосредственный.Самборская А.Н. Общая задача устойчивости периодического ряда волокон в упругой матрице : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.02.04 / А. Н. Самборская, 1991. - 18 с. - Текст : непосредственный.Мацкевич П.А. Исследования спиновых и пространственных корреляционных функций в кристаллах и неупорядоченных системах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.02 / П. А. Мацкевич, 1991. - 18 с. - Текст : непосредственный.Храмченков Д.В. Нестационарные процессы радиационной электропроводности,накопления и релаксации объемного заряда в неупорядоченных материалах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / Д. В. Храмченков, 1991. - 17 с. - Текст : непосредственный.Нгуен Бак Ха.Радиоизотопная плотнометрия композиционных материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.10 / Нгуен Бак Ха, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Чистов А.Ю. Восстановление тепловых режимов работы изделий из деструктирующих композиционных материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.14.05 / А. Ю. Чистов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кульбачинский В.А. Энергетический спектр и локализация электронов в системах пониженной размерности : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.07 / В. А. Кульбачинский, 1991. - 32 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВенер М.В. Компьютерное моделирование супрамолекулярных систем и наноструктур : учеб. пособие / М. В. Венер, В. Г. Цирельсон, 2008. - 119 с. - Текст : непосредственный.Информационные модели самосборки наносистем и наноструктурирования материалов при внешнем механическом воздействии / Ю. Г. Кабалдин [и др.], 2009. - 211 с. - Текст : непосредственный.Основы компьютерного моделирования наносистем : учеб. пособие / И. М. Ибрагимов, А. Н. Ковшов, Ю. Ф. Назаров, 2010. - 376 с. - Текст : непосредственный.Моделирование физических свойств наноматериалов на базе параллельных алгоритмов : учеб. пособие / В. В. Мазуренко, А. Н. Руденко, В. Г. Мазуренко, 2009. - 85 с. - Текст : непосредственный.Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Диффузия : учеб. пособие / Ю. В. Осипов, М. Б. Славин, 2011. - 73 с. - Текст : непосредственный.Моделирование и визуализация средствами MATLAB физики наноструктур / И. Матюшкин, 2011. - 166 с. - Текст : непосредственный.Васильева Л.Ю. Моделирование мезо- и нанообъектов в различных средах и полях / Л. Ю. Васильева, Л. А. Уварова, Е. Ю. Романова, 2010. - 201 с. - Текст : непосредственный.Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций / С. Ю. Юрчук, 2013. - 44 с. - Текст : непосредственный.Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование наносистем методами молекулярной динамики : курс лекций / С. Ю. Юрчук, 2013. - 46 с. - Текст : непосредственный.Заводинский В.Г. Компьютерное моделирование наночастиц и наносистем : спецкурс / В. Г. Заводинский, 2013. - 174 с. - Текст : непосредственный.Компьютерное моделирование квантовой релаксации наносистем : учеб. пособие / С. А. Безносюк [и др.], 2013. - 117 с. - Текст : непосредственный.Звонарев С.В. Моделирование структуры и свойств наносистем : учеб.-метод. пособие / С. В. Звонарев, В. С. Кортов, Т. В. Штанг, 2014. - 119 с.Бескровный И.М. Системная инженерия проектов наноиндустрии : учеб. пособие / И. М. Бескровный, 2014. - 250 с.Браже Р.А. Математическое моделирование наноструктур и их физических свойств : учеб. пособие / Р. А. Браже, 2014. - 98 с.Моделирование процессов и устройств нанотехнологии / В. А. Тупик, Л. Ю. Аммон, Д. В. Бабичев [и др.]. ; под редакцией В. А. Тупика, 2017. - 188 с. - Текст : непосредственный.Романова, Ксения Андреевна. Компьютерное моделирование нанокомпозитных материалов : учебное пособие / Романова К. А., Галяметдинов Ю. Г., 2022. - 91 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Панфилова, Екатерина Вадимовна. Нейросетевое моделирование производственных процессов в нанотехнологиях : учебно-методическое пособие / Е. В. Панфилова, 2025. - 44, [2] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Шукринов, Юрий Маджнунович. Численные методы и математическое моделирование наноструктур : учебное пособие / Ю. М. Шукринов, И. Р. Рахмонов, К. В. Куликов, 2025. - 172 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Сафонов, Иван Андреевич. Параллельный алгоритм для расчета взаимодействий разноматериальных нанокластеров при создании композитных металлических материалов / И. А. Сафонов, 2026. - 30 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Венер М.В. Компьютерное моделирование супрамолекулярных систем и наноструктур : учеб. пособие / М. В. Венер, В. Г. Цирельсон, 2008. - 119 с. - Текст : непосредственный.Основы компьютерного моделирования наносистем : учеб. пособие / И. М. Ибрагимов, А. Н. Ковшов, Ю. Ф. Назаров, 2010. - 376 с. - Текст : непосредственный.Моделирование физических свойств наноматериалов на базе параллельных алгоритмов : учеб. пособие / В. В. Мазуренко, А. Н. Руденко, В. Г. Мазуренко, 2009. - 85 с. - Текст : непосредственный.Моделирование начального этапа процесса роста нановискеров на активированной подложке : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 05.13.18 / А. В. Северюхин, 2010. - 16 с. - Текст : непосредственный.Разработка двухстадийных схем Розенброка с комплексными коэффициентами и их применение в задачах моделирования образования периодических наноструктур : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 05.13.18 / А. Г. Лимонов, 2010. - 23 с. - Текст : непосредственный.Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Диффузия : учеб. пособие / Ю. В. Осипов, М. Б. Славин, 2011. - 73 с. - Текст : непосредственный.Моделирование и визуализация средствами MATLAB физики наноструктур / И. Матюшкин, 2011. - 166 с. - Текст : непосредственный.Васильева Л.Ю. Моделирование мезо- и нанообъектов в различных средах и полях / Л. Ю. Васильева, Л. А. Уварова, Е. Ю. Романова, 2010. - 201 с. - Текст : непосредственный.IUTAM symposium on modelling nanomaterials and nanosystems : proceedings of the IUTAM symposium held in Aalborg, Denmark, 19-22 May 2008 / ed.: G. M. Gladwell [et al.], 2009 r=on-line.Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций / С. Ю. Юрчук, 2013. - 44 с. - Текст : непосредственный.Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование наносистем методами молекулярной динамики : курс лекций / С. Ю. Юрчук, 2013. - 46 с. - Текст : непосредственный.Заводинский В.Г. Компьютерное моделирование наночастиц и наносистем : спецкурс / В. Г. Заводинский, 2013. - 174 с. - Текст : непосредственный.Компьютерное моделирование квантовой релаксации наносистем : учеб. пособие / С. А. Безносюк [и др.], 2013. - 117 с. - Текст : непосредственный.Звонарев С.В. Моделирование структуры и свойств наносистем : учеб.-метод. пособие / С. В. Звонарев, В. С. Кортов, Т. В. Штанг, 2014. - 119 с.Бескровный И.М. Системная инженерия проектов наноиндустрии : учеб. пособие / И. М. Бескровный, 2014. - 250 с.Свитенков А.И. Суперкомпьютерное моделирование наноструктурных комплексов с учетом нелокальности транспортных процессов : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 05.13.18 / А. И. Свитенков, 2013. - 18 с.Математическое моделирование процессов получения кластерных наноструктур : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 05.13.08 / К. Ю. Замотин, 2015. - 16 с.Браже Р.А. Математическое моделирование наноструктур и их физических свойств : учеб. пособие / Р. А. Браже, 2014. - 98 с.Семенов С.А. Технология программирования алгоритмов молекулярно-динамического моделирования наносистем на графических процессорах : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 05.13.11, 05.13.18 / С. А. Семенов, 2017. - 20 с.Мелихова А.С. Математическое моделирование наноструктур с элементами различных размерностей : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 01.04.02 / А. С. Мелихова, 2018. - 15 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽