Полное описание
>
Ito, H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - (Advances in polymer science, ISSN 0065-3195 ; 172). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/b14099. - ISBN 978-3-540-31557-5.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.3.049.77-047.84:776 |
Кл.слова (ненормированные): электронолитография
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)
>
http://dx.doi.org/10.1007/b14099
Surface-initiated polymerization . 2 / ed. R. Jordan, 2006. - 214 p. - Текст : непосредственный.Surface-initiated polymerization . 1 / ed. R. Jordan, 2006. - 202 p. - Текст : непосредственный.Polysaccharides. 2 / ed. D. Klemm; with contributions by T. Heinze, N. Hessler, B. Heublein [et al.], 2006. - X,300 p. - Текст : непосредственный.Block copolymers . 1 / ed. V. Abetz; with contributions by V. Abetz, N. Hadjichristidis, H. Iatrou, M. Pitsikalis, P. F. W. Simon, 2005. - X, 238 p. - Текст : непосредственный.Block copolymers. 2 / ed. V. Abetz; with contributions by M. L. Arnal, V. Balsamo, C. Coenjarts, J.-F. Gohy, M. A. Hillmyer [et al.], 2005. - X, 252 p. - Текст : непосредственный.Polymer therapeutics. 2 : Polymers as drugs, conjugates and gene delivery systems / ed. R. Satchi-Fainaro, R. Duncan; with contributions by V. Y. Alakhov, S. Allen, C. M. Barnes [et al.], 2006. - VI, 228 p. - Текст : непосредственный.Polymer therapeutics. 1 : Polymers as drugs, conjugates and gene delivery systems / ed. R. Satchi-Fainaro, R. Duncan; with contributions by R. J. Amir, P. K. Dhal, R. Duncan [et al.], 2006. - VI, 204 p. - Текст : непосредственный.Intrinsic molecular mobility and toughness of polymers. 1 / ed. H.-H. Kausch; with contributions by J. L. Halary, H.-H. Kausch, F. Laupretre, G. H. Michler, L. Monnerie, 2005. - X,390 p. - Текст : непосредственный.Interphases and mesophases in polymer crystallization. 2 / ed. G. Allegra; with contributions by A. Abe, F. Auriemma, S. Bracco, A. Comotti, P. Corradini [et al.], 2005. - X,204 p. - Текст : непосредственный.Interphases and mesophases in polymer crystallization. 1 / ed. G. Allegra; with contributions by D. C. Bassett, D. S. M. De Silva, P. H. Geil, T.-C. Long, B. Lotz [et al.], 2005. - X,220 p. - Текст : непосредственный.Interphases and mesophases in polymer crystallization. 3 / ed. G. Allegra; with contributions by G. Allegra, D. Frenkel, M. Hikosaka, W. Hu, M. Imai [et al.], 2005. - X,303 p. - Текст : непосредственный.Intrinsic molecular mobility and toughness of polymers. 2 / ed. H.-H. Kausch; with contributions by V. Altstadt, M. C. Baietto-Dubourg, C.-M. Chan, A. Chateauminois, R. Estevez [et al.], 2005. - X,262 p. - Текст : непосредственный.Advanced computer simulation approaches for soft matter sciences. 1 / ed. C. Holm, K. Kremer; with contributions by S. Auer, K. Binder, J. G. Curro, D. Frenkel, G. S. Grest [et al.], 2005. - X, 250 p. - Текст : непосредственный.Advanced computer simulation approaches for soft matter sciences. 2 / ed. C. Holm, K. Kremer; with contributions by A. Arnold, C. Holm, D. Levesque, P. Linse, M. Muller [et al.], 2005. - XI, 275 p. - Текст : непосредственный.Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line.Advanced computer simulation approaches for soft matter sciences I / ed. C. Holm, K. Kremer, 2005 r=on-line.Polymer particles / ed. M. Okubo, 2005 r=on-line.Metathesis polymerization / ed. M. R. Buchmeiser, 2005 r=on-line.Poly(arylene ethynylene)s / ed. C. Weder, 2005 r=on-line.Polymeric and inorganic fibers / J. J. Baltussen [et al.], 2005 r=on-line.
Показать все результатыKnapp A. Advanced real analysis : along with a companion volume basic real analysis / A. Knapp, C. Epstein, S. Krantz, 2005 r=on-line.Decreusefond L. Mathematiques informatique physique : au fil des TIPе / L. Decreusefond, A. Maruani, 2005 r=on-lineTrue visions : the emergence of ambient intelligence / ed.: E. Aarts, J. Encarnação, 2006 r=on-line.Bielefeld B. Building projects in China : a manual for architects and engineers / B. Bielefeld, L. P. Rusch, 2006 r=on-line.Horst W. Het herstel van het gewone leven : een handreiking aan alledaagse opvoeders (ouders, onderwijsgevenden, groepsleiding, gezinsverzorgster) in problematische opvoedingssituaties / W. Horst, 2006 r=on-line. - Текст : электронный.Advances in cryptology - CRYPTO - 86 : proceedings / ed. A. M. Odlyzko, 2006 r=on-line.ECOOP - 87 european conference on object-oriented programming : Paris, France, June 15-17, 1987: proceedings / ed. J. Bezivin [et al.], 1987 r=on-line. - Текст : электронный.Prodan R. Grid computing : experiment management, tool integration, and scientific workflows / R. Prodan, T. Fahringer, 2007 r=on-line.Distributed, high-performance and grid computing in computational biology : international Workshop, GCCB 2006, Eilat, Israel, Jan. 21, 2007: proceedings / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-line.Engineering self-organising systems : 4th International Workshop, ESOA 2006, Hakodate, Japan, May 9, 2006: revised and invited papers / ed. S. Brueckner [et al.], 2007 r=on-line.Evolutionary computation in combinatorial optimization : 7th European conf., EvoCOP 2007, Valencia, Spain, Apr. 11-13, 2007: proceedings / ed.: C. Cotta, J. Hemert, 2007 r=on-line.Systems biology and regulatory genomics : joint Annual RECOMB 2005 satellite workshops on systems biology and on regulatory genomics, San Diego, Ca, USA, Dec. 2-4, 2005: revised selected papers / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-line.Languages and compilers for parallel computing : 18th International workshop, LCPC 2005, Hawthorne, NY, USA, Oct. 20-22, 2005: revised selected papers / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-line.Ada 2005 reference manual. Language and standard libraries : international Standard ISO/IEC 8652/1995 (E) with technical corrigendum 1 and amendment 1 / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-line.Complex motion : 1st International workshop, IWCM 2004, Gunzburg, Germany, Oct. 12-14, 2004: revised papers / ed. B. Jahne [et al.], 2006 r=on-line.Models in software engineering : workshops and symposia at MoDELS 2006, Genoa, Italy, Oct. 1-6, 2006: reports and revised selected papers / ed. T. Kuhne, 2007 r=on-line.Interactive systems. design, specification, and verification : 13th International workshop, DSVIS 2006, Dublin, Ireland, July 26-28, 2006: revised papers / ed.: G. Doherty, A. Blandford, 2007 r=on-line.Multimodal technologies for perception of humans : first International evaluation workshop on classification of events, activities and relationships, CLEAR 2006, Southampton, UK, Apr. 6-7, 2006: revised selected papers / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-line.Computational logic in multi-agent systems : 7th International Workshop, CLIMA VII, Hakodate, Japan, May 8-9, 2006: revised selected and ivited papers / ed. K. Inoue [et al.], 2007 r=on-line.New frontiers in artificial intelligence : JSAI 2006 conference and workshops, Tokyo, Japan, June 5-9 2006:revised selected papers / ed. T. Washio [et al.], 2007 r=on-line.
Показать все результатыМынбаев К.Д. Диффузионное и ионно-лучевое легирование Cd Hg Te : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / К. Д. Мынбаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Тысченко И.Е. Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физико-мат.наук:01.04.10 / И. Е. Тысченко, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Хаки Исмаиль Хаки Тахер.Воздействие радиационных дефектов на диффузию фосфора в имплантированном кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.10 / Хаки Исмаиль Хаки Тахер, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Белых Т.А. Особенности дефектообразования при имплантации ионов повышенной энергии в твердые тела : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Т. А. Белых, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный.Авдеев С.П. Разработка электронно-лучевой технологии изготовления малошумящих микроканальных пластин : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.05 / С. П. Авдеев, 1997. - 22 с. - Текст : непосредственный.Чернова Н.А. Примесные состояния иттербия в сплавах на основе теллурида свинца : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.09 / Н. А. Чернова, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Щербакова Е.Н. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Е. Н. Щербакова, 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный.Барабаненков М.Ю. Кинетика химической стадии ионно-лучевой модификации кремния и оптические мезоскопические эффекты в ионно-модифицированных структурах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:05.27.01 / М. Ю. Барабаненков, 2001. - 46 с. - Текст : непосредственный.Гумаров Г.Г. Ионно-лучевой синтез силицидов металлов подгруппы железа в кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Г. Г. Гумаров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Джабраилов Т.А. Влияние преципитации и изоэлектронной ионной имплантации на дефектообразование в монокристаллическом кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Т. А. Джабраилов, 2001. - 17 с. - Текст : непосредственный.Ефимов А.А. Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.14 / А. А. Ефимов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Изюмов М.О. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / М. О. Изюмов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Стук А.А. Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.05 / А. А. Стук, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Кабышев А.В. Ионно-термическая модификация неорганических диэлектриков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук :01.04.07 / А. В. Кабышев, 2001. - 42 с. - Текст : непосредственный.Лысенко Л.Н. Использование нейтральных примесей, компенсированных основой, для производства монокристаллов кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Л. Н. Лысенко, 2001. - 25 с. - Текст : непосредственный.Терентьев С.А. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.09.10,05.27.01 / С. А. Терентьев, 2002. - 16 c. - Текст : непосредственный.Бердников А.Е. Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. Е. Бердников, 2001. - 38 с. - Текст : непосредственный.Волкова С.М. Получение молекулярных пленок на основе тетракис-хелатных комплексов и аддуктов редкоземельных элементов и исследование их свойств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук :02.00.04 / С. М. Волкова, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. П. Михайлов, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Архангельский А.Б. Разработка высокопроизводительных алгоритмов и инструментальных средств подготовки управляющих программ для фотонаборных установок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13:05.13.16 / А. Б. Архангельский, 1995. - 24 с. - Текст : непосредственный.Кольцов Ю.И. Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.04 / Ю. И. Кольцов, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный.Борзенко Т.Б. Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / Т. Б. Борзенко, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный.Кривоспицкий А.Д. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / А. Д. Кривоспицкий, 1997. - 38 с. - Текст : непосредственный.Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Балашов В.Н. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / В. Н. Балашов, 1998. - 39 с. - Текст : непосредственный.Гайнуллина Н.Р. Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21 / Н. Р. Гайнуллина, 1998. - 15 с. - Текст : непосредственный.Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный.Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный.Мальцев В.П. Адгезия фоторезистов и ее влияние на процессы фотолитографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. П. Мальцев, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Гайфуллин Б.Н. Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Диссертация на соискание ученой степени канд.техн.наук в форме науч.докл.:05.13.18 / Б. Н. Гайфуллин, 2000. - 33 л. - Текст : непосредственный.Ивин В.В. Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный.Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный.Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.Соколов Д.В. Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.01 / Д. В. Соколов, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Прудник А.М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПросмотр издания