• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР99-7148
    Попов, А. А. Низкочастотный тлеющий разряд и механизмы роста в нем пленок а-Si:H и сплавов на его основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. А. Попов. - М. : [б. и.], 1999. - 28 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 24-28 (31 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.33621.315.592-416.002(043)
    621.383.51.002(043)
    Экз-ры полностью АР99-7148
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽