• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар11-3596
    Гудкова, С. А. Исследование структуры и свойств двух и трехкомпонентных оксидов TIxAl1-xOy, сформированных методом атомарно-слоевого осаждения : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / С. А. Гудкова. - Долгопрудный : [б. и.], 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (11т назв.). - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    29.19.33537.226:539.216.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): диэлектрики -- тонкие пленки -- карты памяти -- логические схемы -- элементы -- подзатворные диэлектрики -- мдп-структуры
    Аннотация: Создание методики формирования тонких пленок двух и трехкомпонентных оксидов TixAl1-xOy посредством атомарно-слоевого осаждения в широком диапазоне концентраций. Изучение их физико-химических и структурных свойств для применения в электронном и медицинском материаловедении.Экз-ры полностью Ар11-3596
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽