• ВХОД
  •  

    Полное описание

    06922000613
    Получение сверхчистого газа и система его подачи / ВЦП. - [Б. м. : б. и.]. - 8 с. - Япон.яз. - Пер. ст. Manufacture of ultra high purity gases and this delivery system / M. Goto из журн.: // Ое буцури. - 1989. - Vol. 58, N 6. - P.947-948. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: 6 назв.
    ГРНТИ 61.69.35

    Рубрики:
    Газы чистые

    Доп. точки доступа:
    Goto, M.
    Экз-ры полностью 06922000613
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽