Приложение
для AndroidПолное описание
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / М. В. Акуленок [и др.]. - М. : Бином. Лаб. знаний, 2011 - . - (Нанотехнологии). - Текст : непосредственный.
Т. 2 : Технологические аспекты. - 2011. - 252 с. - Библиогр.: с. 243-248 (110 назв.). - ISBN 978-5-9963-0341-0. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : Б. ц.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84 | |
| 81.13.30 | 620.3 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Нанотехнологии
Аннотация: Изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов для нанометрового диапазона.
Доп. точки доступа:
Акуленок, М.В.
Андреев, В.М.
Громов, Д.Г.
Зиновьев, Д.В.
Мочалов, А.И.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Битюков В.К. Нанотехнологии : Принципы, методы и реализации: Учеб. пособие / В.К.Битюков,Б.А.Голоденко, 2003. - 191 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии : [Учеб.-монография] / Ч. Пул, Ф. Оуэнс, 2005. - 334 с. - Текст : непосредственный.Пул Ч. Нанотехнологии : учеб. пособие / Ч. Пул, Ф. Оуэнс; пер. с англ. под ред. Ю.И.Головина, 2007. - 375 с. - Текст : непосредственный.Сборник докладов Харьковской нанотехнологической ассамблеи-2008 / под общ ред. И.М. Неклюдова, В.М. Шулаева. Т. 1 : Нанотехнологии, 2008. - 292 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии : учеб. пособие / Ч. Пул, Ф. Оуэнс; пер. с англ. под ред. Ю. И. Головина, 2009. - 335 с. - Текст : непосредственный.Богатство Наномира. Фоторепортаж из глубин вещества / Е. А. Гудилин [и др.] ; ред. Ю. Д. Третьяков, 2010. - 171 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии / Ч. Пул, Ф. Оуэнс; пер. с англ. под ред. Ю.И. Головина, 2010. - 330 с. - Текст : непосредственный.Получение и исследование наноструктур : лаборатор. практикум по нанотехнологиям / А. А. Евдокимов [и др.]; под ред. А. С. Сигова, 2010. - 146 с. - Текст : непосредственный.Очарование нанотехнологии / У. Хартманн; пер. с нем. Т. Н. Захаровой; под ред. Л. Н. Патрикеева, 2010. - 173 с. - Текст : непосредственный.Наноматериалы : учеб. пособие / Д. И. Рыжонков, В. В. Левина, Э. Л. Дзидзигури, 2010. - 365 с. - Текст : непосредственный.Рынок нано: от нанотехнологий - к нанопродуктам / Г. Л. Азоев [и др.] ; под редакцией Г. Л. Азоева, 2011. - 319 с. - Текст : непосредственный.Электронные свойства и применение нанотрубок / П. Н. Дьячков, 2011. - 488 с. - Текст : непосредственный.Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / М. В. Акуленок [и др.]. Т. 2 : Технологические аспекты, 2011. - 252 с. - Текст : непосредственный.Материалы и методы нанотехнологий : учеб. пособие / В. В. Старостин; под общ. ред. Л. Н. Патрикеева, 2010. - 431 с. - Текст : непосредственный.Физические основы кремниевой наноэлектроники : учеб. пособие / Г. И. Зебрев, 2011. - 240 с. - Текст : непосредственный.Наноэлектроника: элементы, приборы, устройства : учеб. пособие / Г. Г. Шишкин, И. М. Агеев, 2011. - 408 с. - Текст : непосредственный.Нелинейные явления в нано- и микрогетерогенных системах / С. А. Гриднев [и др.], 2012. - 352 с. - Текст : непосредственный.Нанобиотехнологии : практикум / А. М. Абатурова [и др.] ; под ред. А. Б. Рубина, 2012. - 384 с. - Текст : непосредственный.Андриевский Р.А. Основы наноструктурного материаловедения. Возможности и проблемы / Р. А. Андриевский, 2012. - 252 с.ил. - Текст : непосредственный.Щука А.А. Наноэлектроника : учеб. пособие / А. А. Щука; под ред. А. С. Сигова, 2012. - 342 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыХимическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.Оскар Хосе Араика Ривера.Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Оскар Хосе Араика Ривера, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, модель DAD-2H/6T, DAD-2H/6TM (Часть II) / ВЦП. - 124 c. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы.В 2-х кн. / ВЦП. - 106 с. - Текст : непосредственный.Диффузионная сварка кремния / ВЦП. - 9 c. - Текст : непосредственный.Ангер Вакумат. Документация / ВЦП. - 41 c. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Волков А.Б. Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Аршук Е.П. Автоматизация финишной обработки выпрямительных полупроводниковых диодов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / Е. П. Аршук, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кривошеев Ю.К. Процессы тепло- и массопереноса в технологиях газофазного синтеза материалов для волоконной оптики и микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / Ю. К. Кривошеев, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыNanotechnology:Cumulation on CD-ROM. 1990-1995,Vol.1-6, 1996. - 1 оптич.диск.Неволин В.К. Основы туннельно-зондовой нанотехнологии : Учеб. пособие / В.К.Неволин, 1996. - 91 с. - Текст : непосредственный.Реутов В.Ф. Применение трековых мембран в нанотехнологии / В.Ф.Реутов,С.Н.Дмитриев, 1998. - 14 с. - Текст : непосредственный.Лускинович П.Н. Нанотехнологии XXI века : Аналит. обзор / П. Н. Лускинович, П. В. Иванов, И. В. Волкова, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Битюков В.К. Нанотехнологии. Введение в дисциплину : Учеб.пособие / В. К. Битюков, Б. А. Голоденко, А. Б. Голоденко, 2002. - 63 с. - Текст : непосредственный.Битюков В.К. Нанотехнологии : Принципы, методы и реализации: Учеб. пособие / В.К.Битюков,Б.А.Голоденко, 2003. - 191 с. - Текст : непосредственный.Головин Ю.И. Введение в нанотехнологию : Учеб. пособие / Ю.И.Головин, 2003. - 111 с. - Текст : непосредственный.Илюшин В.А. Процессы нанотехнологии : Учеб. пособие / В.А.Илюшин,А.А.Величко, 2004. - 107 с. - Текст : непосредственный.Пул Ч. Мир материалов и технологий. Нанотехнологии : учеб.-монография / Ч.Пул,Ф.Оуэнс;Пер. с англ. под ред. Ю.И. Головина , 2004. - 327 с. - Текст : непосредственный.Nanostructures and photon crystals : Collective monograph alter the materials of plenary reports of the 10th International conference "High Technology In Russian Industry", (Russia, Moscow, 2004 September 9-11) / "High Technology In Russian Industry",international conference (10 ; 2004 ; Moscow), 2004. - 323 p. - Текст : непосредственный.Нанотехнология : Простое объяснение очередной гениальной идеи / М. Ратнер, Д. Ратнер, 2004. - 234 с. - Текст : непосредственный.Ведение в нанотехнологию / Н. Кобаяси, 2005. - 134 с. - Текст : непосредственный.Nanowires and nanobelts : materials, properties a. devices / Ed.: Z.L. Wang. Vol. 1 : Metal and semiconductor nanowires, 2003. - XIII,475 p. - Текст : непосредственный.Nanowires and nanobelts : materials, properties a. devices / Ed.: Z.L. Wang. Vol. 2 : Nanowires and nanobelts of functional materials, 2003. - XIII,300 p. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии : [Учеб.-монография] / Ч. Пул, Ф. Оуэнс, 2005. - 334 с. - Текст : непосредственный.Зондовые нанотехнологии в электронике : Монография / В.К. Неволин, 2005. - 148 с. - Текст : непосредственный.Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии / А.И. Гусев, 2005. - 410 с. - Текст : непосредственный.Физика. Элементы физики конденсированного состояния, химической физики и нанофизики : Учеб. пособие / А.Г. Сырков, 2005. - 61 с. - Текст : непосредственный.Процессы микро- и нанотехнологии : учеб. пособие / Т. И. Данилина [и др.], 2005. - 315 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнология: физико химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов / Суздалев И. П., 2006. - 589 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыКурбанов Х. Разработка, исследование и освоение технологии производства изделий из коррозионно-стойких сплавов на основе алюминия методами пластического деформирования для микроэлектроники и электротехники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.16.05 / Х. Курбанов, 1991. - 39 с. - Текст : непосредственный.Редин В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин, 1992. - 41 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Егоров А.Ю. Прямое получение полупроводниковых квантовых проволок и точек методом молекулярно-пучковой эпитаксии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.10 / А. Ю. Егоров, 1996. - 21 с. - Текст : непосредственный.Веденин К.В. Моделирование процессов информационного обеспечения микроэлектронной технологии с применением методов искусственного интеллекта : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.16 / К. В. Веденин, 2000. - 18 с. - Текст : непосредственный.Бархоткин А.В. Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.07 / А. В. Бархоткин, 1999. - 28 с. - Текст : непосредственный.Никишина С.В. Исследование и моделирование процессов накопления, обработки и анализа массивов технологических данных в области микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.18 / С. В. Никишина, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный.Абрамова Л.С. Разработка элементов и устройств системы управления процессом порезки щелочногалоидных монокристаллов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.05 / Л. С. Абрамова, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Microprocess : The 6th(5th intern.)microprocess conf.,Hiroshima,19-22 July,1993 / MPS 93, 1993. - 5823-6300 p. p.Micro-and nanoengineering 94 : Proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.26-29,1994,Davos / Ed. H. W. Lehmann, 1995. - XVII,564 p. p. - Текст : непосредственный.NANOLITHOGRAPHY: a borderland between STM,EB,IB,and X-ray lithographies : Proc.of the NATO advanced research workshop on NANOLITHOGRAPHY..Roma,Apr.6-8,1993 / ed. M. Gentili, 1994. - VIII,215 p. p. - Текст : непосредственный.Бессараб А.Б. Автоматизированные системы управления в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие / А.Б.Бессараб, 1995. - 192 c. - Текст : непосредственный.Nanotechnology:Cumulation on CD-ROM. 1990-1995,Vol.1-6, 1996. - 1 оптич.диск.Micro-and nanoengineering 95 : Proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.25-29,1995,Aix en Provence / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.The 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный.Неволин В.К. Основы туннельно-зондовой нанотехнологии : Учеб. пособие / В.К.Неволин, 1996. - 91 с. - Текст : непосредственный.MicroProcess : The 5th (4th intern.) microprocess conf.,Kanagawa,13-16 July 1992 / MPC 92, 1992. - 4103-4585 p. p.Adaption eines elektronischen Laborbuchs (Elab) an ein objektorientiertes Datenbank-Management-System / K.-U.Stucky,H.Eggert,A.Schmidt,R.Reiger, 1997. - 141 S. - Текст : непосредственный.Microprocesses and nanotechnology : The 10th Intern.microprocesses and nanotechnology conf.,July 7-10,1997,Nagoya / MNC'97, 1997. - 7473-7808 p. p. - Текст : непосредственный.Голубев, Н. Ф. Радиационные процессы в микроэлектронике. Ч. 1 : Физические основы и применение радиационно-термических процессов в технологии биполярных микроприборов, 1991. - 43 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽