• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР99-5648
    Домненко, В. М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко. - СПб : [б. и.], 1999. - 18 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн. ун-т). Библиогр.:с. 18(10 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.13.17621.3.049.77-047.84:776(043)
    Экз-ры полностью АР99-5648
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽