• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР99-3523
    Пономарь, В. Н. Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. Н. Пономарь. - Минск : [б. и.], 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :Белорус. гос. ун-т. Библиогр.:с. 11-13(18 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.771.14.002(043)
    Экз-ры полностью АР99-3523
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽