• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ж2-10/48338
    Берлин, Е. В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. Берлин, Л. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010 (Вологда). - 527 с. : ил. + 12 с. ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце глав. - 1500 экз. - ISBN 978-5-94836-222-9 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    29.19539.23

    Рубрики:
    Пленки -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Сейдман, Л.
    Экз-ры полностью Ж2-10/48338
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽