• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР99-сф19
    Александров, С. Е. Закономерности низкотемпературного химического осаждения нитридных и оксинитридных пленок из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим. наук: 05.27.06 / С. Е. Александров. - СПб : [б. и.], 1998. - 34 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 31-34(40 назв.)
    ГРНТИ УДК
    45.09.37621.315.61-416.002(043)
    Экз-ры полностью АР99-сф19
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СФ (1)
    Свободны: СФ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽