• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар09-459
    Митченко, И. С. Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. С. Митченко. - Ставрополь : [б. и.], 2008. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22(19 назв.). - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    61.31.47661.665.1-416(043)
    Экз-ры полностью Ар09-459
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽