Полное описание
>
Основы микросистемотехники : учеб. пособие / В. А. Шубарев [и др.] ; Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения. - СПб. : ГУАП, 2008 (СПб.). - 195 с. - Библиогр.: с. 194-195. - 150 экз. - ISBN 978-5-8088-0335-0 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
Авт. указ. на обороте тит. л. В надзаг.: С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосм. приборостроения
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621-181.4 |
Рубрики:
Микросистемотехника
Доп. точки доступа:
Шубарев, В.А.
Пикулев, В.А.
Богословский, С.В.
Сапожников, Г.А.
Перлюк, В.В.
Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)
Исследование, разработка приборов и устройств : Сб.науч.тр. / С.-Петербург.гос.ун-т аэрокосм.приборостроения, 1998. - 174 с. - Текст : непосредственный.Информатика и управление : Сб.науч.тр. / С.-Петерб.гос.ун-т аэрокосм.приборостроения, 1998. - 128 с. - Текст : непосредственный.Информационные системы в промышленности и экономике : Сб. науч. тр. / С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосм. приборостроения, 1999. - 128 с. - Текст : непосредственный.Менеджмент, экономика и право : Сб.науч.тр. / С.-Петербург.гос.ун-т аэрокосм.приборостроения, 1999. - 141 с. - Текст : непосредственный.Радиотехнические и телевизионные системы : Сб.науч.тр. / С.-Петерб.гос.ун-т аэрокосм.приборостроения, 2000. - 177 с. - Текст : непосредственный.Системность структур техники и бизнеса: прогнозирование, планирование, принятие решений : Сб.тр.летней школы семинара аспирантов и студентов СПб ГУАП / Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения, 2003. - 235 с. - Текст : непосредственный.Социокультурные и коммуникативные аспекты проблем современного общества в условиях глобализации экономики : 2-я межвуз. науч.-практ. конф. студентов, аспирантов и молодых ученых, 24 нояб. 2003 г. / Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения, 2003. - 123 с. - Текст : непосредственный.Государственный университет аэрокосмического приборостроения : первый и единственный / Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения, 2006. - 351 с. - Текст : непосредственный.Актуальные проблемы экономики современной России : сб. науч. тр. / Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосм. приборостроения", 2005. - 126 с. - Текст : непосредственный.Принципы применения геоинформационных систем при управлении полетом летательного аппарата : учеб. пособие / Г. В. Анцев [и др.], 2006. - 65 с. - Текст : непосредственный.Основы автоматического управления : учеб. пособие к курсовой работе. Ч. 1 / А. И. Таранчук [и др.], 2006. - 141 с. - Текст : непосредственный.Вопросы передачи и защиты информации : сб. ст. / Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения, 2006. - 225 с. - Текст : непосредственный.Актуальные проблемы экономики современной России : сб. науч. трудов / С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосм. приборостроения. Вып. 3, 2007. - 309 с. - Текст : непосредственный.Информационно-коммуникационные технологии - важнейший фактор формирования общества знаний : материалы междунар. форума, 25-30 мая 2008 г., 2008. - 200 с. - Текст : непосредственный.Основы микросистемотехники : учеб. пособие / В. А. Шубарев [и др.], 2008. - 195 с. - Текст : непосредственный.Современные технологии в задачах управления, автоматики и обработки информации : тр. XVII Междунар. научно-техн. семинара, Алушта, сентябрь 2008 г. / Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения, 2008. - 285 с. - Текст : непосредственный.Актуальные проблемы экономики современной России : сб. науч. трудов / С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосм. приборостроения. Вып. 4, 2008. - 348 с. - Текст : непосредственный.Актуальные проблемы экономики современной России : сб. науч. трудов / С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосм. приборостроения. Вып. 5, 2009. - 398 с. - Текст : непосредственный.Линейные системы автоматического управления : учеб. пособие / А. Н. Герасимов [и др.], 2009. - 231 с. - Текст : непосредственный.Актуальные проблемы экономики современной России : сб. науч. докл / Санкт-Петербургский гос. ун-т аэрокосмического приборостроения, 2010. - 165 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыХимическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.Оскар Хосе Араика Ривера.Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Оскар Хосе Араика Ривера, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, модель DAD-2H/6T, DAD-2H/6TM (Часть II) / ВЦП. - 124 c. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы.В 2-х кн. / ВЦП. - 106 с. - Текст : непосредственный.Диффузионная сварка кремния / ВЦП. - 9 c. - Текст : непосредственный.Ангер Вакумат. Документация / ВЦП. - 41 c. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Волков А.Б. Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Аршук Е.П. Автоматизация финишной обработки выпрямительных полупроводниковых диодов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / Е. П. Аршук, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кривошеев Ю.К. Процессы тепло- и массопереноса в технологиях газофазного синтеза материалов для волоконной оптики и микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / Ю. К. Кривошеев, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМикромеханические приборы, устройства и технологии : курс лекций / П. Г. Михайлов, 2007. - 172 с. - Текст : непосредственный.Техническая механика микросистем : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев [и др.] ; под ред. В. Н. Тимофеева, 2006. - 187 с. - Текст : непосредственный.Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства : сб. науч. тр. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т), 2007. - 144 с. - Текст : непосредственный.Micromanufacturing and nanotechnology / ed. N. P. Mahalik, 2006. - XXIII, 468 p. - Текст : непосредственный.Нанотехнологическая база микросистемной техники / В. М. Башков [и др.]; под ред. О. С. Нарайкина, В. Д. Шашурина, 2007. - 51 с. - Текст : непосредственный.Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль : сб. науч. тр. / Московский гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т), 2007. - 207 с. - Текст : непосредственный.Courses and lectures. № 466 : Microfluidics: history, theory and applications : coll. / ed. W. B.J. Zimmerman, 2006. - 304 p. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7378 : Megaschallunterstutzter Stofftransport in LIGA-Mikrostrukturen : Diss. / M. Lisinkova [et al.], 2008. - IV, 111 p. - Текст : непосредственный.Основы микросистемотехники : учеб. пособие / В. А. Шубарев [и др.], 2008. - 195 с. - Текст : непосредственный.Tesar V. Pressure-driven microfluidics / V. Tesar, 2007. - XII, 410 p. - Текст : непосредственный.Micro and nano mechanical testing of materials and devices / eds.: F. Yang, J. C. M. Li, 2008. - XIII, 387 p. - Текст : непосредственный.Техническая механика микросхем : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев [и др.], 2009. - 176 с. - Текст : непосредственный.Инженерные расчеты элементов и узлов микросистемной техники : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев, А. И. Погалов, С. В. Угольников, 2009. - 192 с. - Текст : непосредственный.Micro & nano technologies: MNT / ed. J. Ramsden. 1 : Microdrops and digital microfluidics / J. Berthier, 2008. - XVIII, 441 p. - Текст : непосредственный.RSC nanoscience and nanotechnology / ed. P. O'Brien [et al.]. N 6 : Nanofluidics: Nanoscience and nanotechnology / ed.: J. B. Edel, A. J. deMello, 2009. - XI, 198 p. - Текст : непосредственный.Dziuban J.A. Bonding in microsystem technology / J. A. Dziuban, 2006 r=on-line.Техническая механика микросхем : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев [и др.], 2011. - 176 с. - Текст : непосредственный.Учебно-методические материалы по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника" : учеб. пособие / Н. Н. Андрианова [и др.]; под общ. ред. И. В. Суминова, В. А. Сорокина, 2011. - 479 с. - Текст : непосредственный.Проектирование микросистем. Программные средства обеспечения САПР : учеб. пособие / А. А. Левицкий, П. С. Маринушкин, 2010. - 155 с. - Текст : непосредственный.Microfluidic devices in nanotechnology. Applications / ed. C. S. Kumar, 2010. - XII, 407 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМалагин А.Г. Контурное электрохимическое формообразование по трафарету миниатюрных деталей из прецизионных сплавов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.17.03 / А. Г. Малагин, 1995. - 17 с. - Текст : непосредственный.Иванов А.С. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.11 / А. С. Иванов, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный.Лысенко И.Е. Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / И. Е. Лысенко, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный.Каримов К.А. Фрикционные механизмы с управляемыми параметрами и связями. Основы теории и конструкции : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.02.18 / К. А. Каримов, 1991. - 41 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : автореф. дис. .. д-ра техн. наук : 05.13.06 / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный.Жуков А.А. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореф. дис. .. д-ра техн. наук : 05.27.01, 05.27.06 / А. А. Жуков, 2003. - 52 с. - Текст : непосредственный.Micro system technologies 90 : 1.intern. Fachkongress,Berlin, 10.bis 13.Sept.1990:Anwenderforum, 1990. - 339 S. - Текст : непосредственный.Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren : Diss. / K.Kadel,G.Stern,R.Brossardt,W.Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный.1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik,23-24 Sept.1993 im Kernforschungszentrum Karlsruhe / Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik (1 ; 1993 ; Karlsruhe) , 1993. - 189 S. - Текст : непосредственный.Thommes A. Die galvanische Abscheidung von Eisen-Nickel in LIGA-Mikrostrukturen / A.Thommes,W.Stark,W.Bacher, 1995. - 76 S. - Текст : непосредственный.Micro system technologies 91 : 2nd intern.conf.on micro electro,opto,mechanic systems and components,Berlin,Oct.29-Nov.1,1991 / ed. R. Krahn, ed. H. Reichl, 1991. - 552 p. - Текст : непосредственный.Stucky K.-U. Rechnergestutzte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen : Diss. / K.-U.Stucky, 1994. - 120 S. - Текст : непосредственный.Huber N. Simulation eines Abformvorgangs / N.Huber,S.Kerpe,Ch.Tsakmakis, 1994. - 48 S. - Текст : непосредственный.Расчетные методы механики деформируемого твердого тела : Конф.,11-14 сент.:Тез.докл. / Сибирская гос. академия путей сообщения (Новосибирск), 1995. - Текст : непосредственный.Berechnung des Verformungsverhaltens einer Mikrobiegevorrichtung / W.Jansohn,P.Piesch,T.J.Reinke,C.Tsakmakis, 1995. - III,60 S. S. - Текст : непосредственный.Проблемы оптимизации в механике деформируемого твердого тела : Междунар.конф.,16-20 окт.1995 г.,Нижний НовгородТез.докл. / Международная инженерная академия, 1995. - 50 c. - Текст : непосредственный.Entwurf eines Systems zur Erfassung und Weiterverarbeitung von Produktinformation bei der Herstellung von Mikrostrukturen / P.Wieland,C.D@:upmeier,H.Eggert,K.P.Scherer, 1995. - IX,148 S. S. - Текст : непосредственный.Muller C. Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik / C.M@:uller,J.Mohr, 1995. - II,84 S. S. - Текст : непосредственный.Gobel H. Herstellung und Analyse kunstlicher Nano-/Mikrostrukturen mit der Rastersondenmikroskopie : Diss. / H.G@:obel, 1996. - III,145 S. S. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A.Both,W.Bacher,M.Heckele,R.Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽