• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР98-043
    Суровцев, И. С. Высокочастотная индукционная и плазменная обработка кремния и гетероструктур : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / И. С. Суровцев. - Воронеж : [б. и.], 1998. - 82 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :Воронеж.гос.техн.ун-т. Библиогр.:с. 72-82 (81 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.002(043)
    47.09.29621.315.592.9.002(043)
    Экз-ры полностью АР98-043
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽