• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР98-260
    Булыгина, Е. В. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / Е. В. Булыгина. - М. : [б. и.], 1997. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.15-16 (8 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14.002(043)
    47.13.11
    Экз-ры полностью АР98-260
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽