Приложение
для AndroidПолное описание
Березин, А. С. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / А. С. Березин. - М. : [б. и.], 1997. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с.22 (5 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.10 | 621.3.049.771.14.002(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Березин А.С. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / А. С. Березин, 1997. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жевалев О.Ю. Магний-хромовые феррошпинели в условиях процессов диффузионной сварки и пайки ферритометаллических узлов СВЧ приборов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.17.11 / О. Ю. Жевалев, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный.Microwave Journal. - Журнал.IEEE Microwave Guided Wave Letters / IEEE. - Журнал. Adam M. Epitaktische SrTiO3-Schichten zur Abstimmung von supraleitenden Mikrowellen-Bauelementen : Diss. / M.Adam, 2002. - I,135 S. S. - Текст : непосредственный.Попов В.В. Конструирование и технология производства полупроводниковых приборов миллиметрового диапазона и устройств на их основе : автореф. дис. .. канд. техн. аук : 05.27.06 / В. В. Попов, 2009. - 16 с. - Текст : непосредственный.Microwave Journal. - Журнал, 1996г. Vol. 39 № 11.Microwave Journal. - Журнал, 1996г. Vol. 39 № 12.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 1.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 2.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 3.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 4.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 5.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 6.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 7.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 8.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 9.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 10.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 11.Microwave Journal. - Журнал, 1997г. Vol. 40 № 12.
Показать все результатыБокша В.В. Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. В. Бокша, 1992. - 21 с. - Текст : непосредственный.Будза А.А. Разработка и исследование технологии выращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии базовых структур с гетеропереходами для ССИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат. / А. А. Будза, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.Сунь Чанку.Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / Сунь Чанку, 1994. - 17 с. - Текст : непосредственный.Козлитин А.И. Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. И. Козлитин, 1994. - 34 с. - Текст : непосредственный.Головин С.В. Разработка автоматизированных методик контроля и оптимизации технологии МОП-БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01 / С. В. Головин, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.А. Методы оценки и обеспечения долговечности контактных систем многослойной металлизации : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Смирнов, 1995. - 17 с. - Текст : непосредственный.Красников Г.Я. Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Г. Я. Красников, 1996. - 49 с. - Текст : непосредственный.Самойликов В.К. Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07;05.27.01 / В. К. Самойликов, 1996. - 49 с. - Текст : непосредственный.Семенов О.Ю. Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Семенов, 1996. - 26 с. - Текст : непосредственный.Райнова М.Ю. Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / М. Ю. Райнова, 1997. - 23 с. - Текст : непосредственный.Сырчин В.К. Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. К. Сырчин, 1997. - 41 с.ил. - Текст : непосредственный.Рощин В.М. Формирование и исследование свойств тонких пленок вольфрама, полученных при импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. М. Рощин, 1997. - 36 с. - Текст : непосредственный.Березин А.С. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / А. С. Березин, 1997. - 22 с. - Текст : непосредственный.Булыгина Е.В. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / Е. В. Булыгина, 1997. - 16 с. - Текст : непосредственный.Пономарь В.Н. Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. Н. Пономарь, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Сауров А.Н. Методы самоформирования в микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Сауров, 1999. - 46 с. - Текст : непосредственный.Чуканов С.В. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. В. Чуканов, 1999. - 24 с. - Текст : непосредственный.Шапоренко А.П. Исследование взаимодействия оксида бора с поверхностью Si(III)методом дифракции быстрых электронов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:01.04.07 / А. П. Шапоренко, 1999. - 20 с. - Текст : непосредственный.Горнев Е.С. Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / Е. С. Горнев, 2000. - 84 с. - Текст : непосредственный.Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽