Приложение
для AndroidПолное описание
Forschungszentrum (Karlsruhe).
Wissenschaftliche Berichte : сборник научных трудов / FZKA. - Karlsruhe : [s. n.], 19 - . - ISSN 0947-8620. - Текст : непосредственный.
7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr. - Karlsruhe : FZKA, 2006. - IV, 71 S. : Ill. - 30.00 р.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.3.049.77-047.84:776(043) |
Рубрики:
Рентгенолитография
Доп. точки доступа:
Achenbach, S.
Mohr, J.
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия:
Moran Campana O. Leitfahigkeitsmechanismen in dunnen SrTiO3-Barrieren und ihr Einfluss auf die Funktion supraleitender Quasiteilchen-Injektionsbauelemente : Diss. / O.Moran Campana, 2002. - 116 S. - Текст : непосредственный.Experimental and calculational results of the QUENCH-05 test / L.Sepold,C.Homann,W.Leilinget.al, 2002. - 143 p. - Текст : непосредственный.Walter M. Mechanische und fraktographische Charakterisierung des niedrigaktivierbaren Chromstahls F82H-mod im sprod-duktilen Ubergangsbereich : Diss. / M.Walter, 2002. - 108 S. - Текст : непосредственный.Present status and perspectives of co-combustion in German power plants / U.Richers,W.Scheurer,H.Seifertet.al, 2002. - 16 p. - Текст : непосредственный.ITER ECRF window development - CVD-Diamond window : Final rep.: ITER task N.:G 55 TT 19EU(TWO-TWO-ECRF/WIN) / M.Thumm,A.Heidinger,A.Arnoldet.al, 2002. - 24 p. - Текст : непосредственный.Schirra M. Das Umwandlungsverhalten der ferritisch-martensitischen Stale mit 8-14% Cr / M.Schirra,H.Finkler, 2002. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.
Nachrichten.Forschungszentrum Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe.Technik und Umwelt. - Журнал выходит с 1970г.Liste der wissenschaftlichen Veroffentlichungen des Forschungszentrums Karlsruhe aus dem Jahre .. / FZKA. 1994, 1995. - 178 S. - Текст : непосредственный.Liste der wissenschaftlichen Veroffentlichungen des Forschungszentrums Karlsruhe aus dem Jahre .. / FZKA. 1995, 1996. - 190 S. - Текст : непосредственный.Liste der wissenschaftlichen Veroffentlichungen des Forschungszentrums Karlsruhe aus dem Jahre .. / FZKA. 1996, 1997. - 180 S. - Текст : непосредственный.Liste der wissenschaftlichen Veroffentlichungen des Forschungszentrums Karlsruhe aus dem Jahre .. / FZKA. 1997, 1998. - 207 S. - Текст : непосредственный.Mineral/water interactions close to equilibrium : Workshop of the Forschungszentrum Karlsruhe,25th and 26th of Mar.1999 / Forschungszentrum (Karlsruhe), 1999. - 164 p. - Текст : непосредственный.Sepold L. Investigation of an overheated PWR - type fuel rod simulator bundle cooled down by steam : Pt. 1: Experimental a. calculational results of the QUENCH-04 test. Pt. 2: Application of the SVECHA/QUENCH code to the analysis of the QUENCH-01 a. QUENCH-04 bundle tests / L.Sepold,P.Hofmann,C.Homann, 2002. - IV,219 p. p. - Текст : непосредственный.Dziugys A. approach to simulate the motion of 2- and 3-dimensional fuel particles in combustion chambers / A.Dziugys,B.Peters, 2002. - 43 p. - Текст : непосредственный. Janssens-Maenhout G. Linear and nonlinear interface model based on the electric double layer theory / G.Janssens-Maenhout,T.Schulenberg, 2002. - 54 p. - Текст : непосредственный.Janssens-Maenhout G. Mixed convection in a two-phase flow cooling loop / G.Janssens-Maenhout,M.Daubner,J.U.Knebel, 2002. - 49 p. - Текст : непосредственный.Morrison H.L. NF2 tumor suppressor gene product, merlin, mediates contact inhibition of growth through interactions with CD44 : Diss. / H.L.Morrison, 2002. - XVI,101 p. p. - Текст : непосредственный. Schirra M. Ergebnisse von Charakterisierungsuntersuchungen zu physikalischen und mechanischen Eigenschaften des martensitischen 9% Cr-Stahles EUROFER '97 / M.Schirra,A.Falkenstein,P.Graf, 2002. - III,30,[68] S. S. - Текст : непосредственный.Elsasser R. Bruchmechanische Untersuchungen fur elastische mikropolare Kontinua : Diss. / R.Els@:asser, 2002. - VI,122 S. S. - Текст : непосредственный.Ernst C. Synthese, Eigenschaften und Reaktivitaten von Cp*Ruthenacyclopentatrienen : Diss. / C.Ernst, 2002. - 160 S. - Текст : непосредственный.TRePro 2002: modelling of coupled transport reaction processes : Workshop of the Forschungszentrum Karlsruhe held at 20th a. 21st of Mar. 2002 / Ed. V. Metz, 2002. - V,119 p. p. - Текст : непосредственный.Schneider M. Continuous observations of atmospheric trace gases by ground-based FTIR spectroscopy at Izana Observatory, Tenerife Island : Diss. / M.Schneider, 2002. - VIII,156 p. p. - Текст : непосредственный.Hering W. Comparison report on the blind phase of the OECD international standard problem No. 45 exercise (QUENCH-06) / W.Hering,Ch.Homann,J.-S.Lamy, 2002. - XVI,162 p. p. - Текст : непосредственный.Kienzler B. Langzeit Auslaug- und Korrosionsexperimente an zementierten 1:1 Gebinden in der Schachtanlage Asse : Probennahme u. Auswertung 2001 / B.Kienzler,M.Schlieker,W.Sch@:ussler, 2002. - V,43 S. S. - Текст : непосредственный.Gotz K. Technisches Holz nach dem Vorbild der Natur : Abschlussbericht zu dem durch das BMBF gef@:orderten Vorhaben mit dem F@:orderkennzeichen 01 RP 9804/9 / K.G@:otz,R.Kappel,I.Tesari, 2002. - 187 S. - Текст : непосредственный.Kohl M. Entwicklung von Mikroaktoren aus Formgedachtnislegierungen : Diss. / M.Kohl, 2002. - 254 S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМынбаев К.Д. Диффузионное и ионно-лучевое легирование Cd Hg Te : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / К. Д. Мынбаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Тысченко И.Е. Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физико-мат.наук:01.04.10 / И. Е. Тысченко, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Хаки Исмаиль Хаки Тахер.Воздействие радиационных дефектов на диффузию фосфора в имплантированном кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.10 / Хаки Исмаиль Хаки Тахер, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Белых Т.А. Особенности дефектообразования при имплантации ионов повышенной энергии в твердые тела : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Т. А. Белых, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный.Авдеев С.П. Разработка электронно-лучевой технологии изготовления малошумящих микроканальных пластин : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.05 / С. П. Авдеев, 1997. - 22 с. - Текст : непосредственный.Чернова Н.А. Примесные состояния иттербия в сплавах на основе теллурида свинца : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.09 / Н. А. Чернова, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Щербакова Е.Н. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Е. Н. Щербакова, 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный.Барабаненков М.Ю. Кинетика химической стадии ионно-лучевой модификации кремния и оптические мезоскопические эффекты в ионно-модифицированных структурах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:05.27.01 / М. Ю. Барабаненков, 2001. - 46 с. - Текст : непосредственный.Гумаров Г.Г. Ионно-лучевой синтез силицидов металлов подгруппы железа в кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Г. Г. Гумаров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Джабраилов Т.А. Влияние преципитации и изоэлектронной ионной имплантации на дефектообразование в монокристаллическом кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Т. А. Джабраилов, 2001. - 17 с. - Текст : непосредственный.Ефимов А.А. Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.14 / А. А. Ефимов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Изюмов М.О. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / М. О. Изюмов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Стук А.А. Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.05 / А. А. Стук, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Кабышев А.В. Ионно-термическая модификация неорганических диэлектриков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук :01.04.07 / А. В. Кабышев, 2001. - 42 с. - Текст : непосредственный.Лысенко Л.Н. Использование нейтральных примесей, компенсированных основой, для производства монокристаллов кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Л. Н. Лысенко, 2001. - 25 с. - Текст : непосредственный.Терентьев С.А. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.09.10,05.27.01 / С. А. Терентьев, 2002. - 16 c. - Текст : непосредственный.Бердников А.Е. Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. Е. Бердников, 2001. - 38 с. - Текст : непосредственный.Волкова С.М. Получение молекулярных пленок на основе тетракис-хелатных комплексов и аддуктов редкоземельных элементов и исследование их свойств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук :02.00.04 / С. М. Волкова, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЛыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный.Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 40 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.
Мануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. П. Михайлов, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Архангельский А.Б. Разработка высокопроизводительных алгоритмов и инструментальных средств подготовки управляющих программ для фотонаборных установок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13:05.13.16 / А. Б. Архангельский, 1995. - 24 с. - Текст : непосредственный.Кольцов Ю.И. Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.04 / Ю. И. Кольцов, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный.Борзенко Т.Б. Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / Т. Б. Борзенко, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный.Кривоспицкий А.Д. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / А. Д. Кривоспицкий, 1997. - 38 с. - Текст : непосредственный.Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Балашов В.Н. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / В. Н. Балашов, 1998. - 39 с. - Текст : непосредственный.Гайнуллина Н.Р. Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21 / Н. Р. Гайнуллина, 1998. - 15 с. - Текст : непосредственный.Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный.Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный.Мальцев В.П. Адгезия фоторезистов и ее влияние на процессы фотолитографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. П. Мальцев, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Гайфуллин Б.Н. Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Диссертация на соискание ученой степени канд.техн.наук в форме науч.докл.:05.13.18 / Б. Н. Гайфуллин, 2000. - 33 л. - Текст : непосредственный.Ивин В.В. Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный.Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный.Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.Соколов Д.В. Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.01 / Д. В. Соколов, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Прудник А.М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽