Приложение
для AndroidПолное описание
Сырчин, В. К. Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. К. Сырчин. - М. : [б. и.], 1997. - 41 с.ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 36-40(46 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.33.31 | 621.3.049.771.14.002(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.
Нитрид алюминия и область его применения / ЦНИИТЭСТРОЙМАШ. - 14 с. - Текст : непосредственный.Схема разработки топологии СБИС / ВЦП МР. - 17 с. - Текст : непосредственный.Многополюсная модель схемы для оценок потери излучения и паразитной связи между нарушениями непрерывности в микрополосковых церях / ВЦП КР. - 16 с. - Текст : непосредственный.Плюсы и минусы полифенилхининоксалина (ПФХ) / ВЦП. - 11 c. - Текст : непосредственный.Исследования в области ИС ЗУ различных видов и поколений. Выбор ИС при проектировании систем и указания по их применению. Ч.3,4 / ВЦП. - 107 c. - Текст : непосредственный.Технические данные / ВЦП. - 48 c. - Текст : непосредственный.Левицкий Д.О. Методы логико-динамического и логико-структурного диагностирования матричных КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Д. О. Левицкий, 1991. - 25 с. - Текст : непосредственный.Ефанов В.А. Организация процесса трассировки матричных БИС и СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.13:05.13.12 / В. А. Ефанов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.Исюк В.И. Разработка математических и программных средств функционально-логического моделирования и тестирования КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.16 / В. И. Исюк, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Семенов Н.Е. Оптимизация методов проектирования топологии кристаллов с линейчатой структурой : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Н. Е. Семенов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Шелепин Н.А. Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / Н. А. Шелепин, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Абачев М.К. Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогеносодержащих газах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. К. Абачев, 1990. - 26 с. - Текст : непосредственный.Мануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Сидоренко П.В. Исследование и разработка интегрированной САПР аналоговых БИС на БМК : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / П. В. Сидоренко, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Букунов С.В. Моделирование и исследование субмикронных транзисторных структур для монолитных интегральных схем СВЧ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / С. В. Букунов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Бачурин В.И. Управление параметрами линейных интегральных схем топологией инжекционных структур с использованием САПР : Дис..д-ра техн.наук в форме науч.докл.:05.13.01:05.13.12 / В. И. Бачурин, 1991. - 38 с. - Текст : непосредственный.Романовский П.Г. Оптимизация метода моделируемого отжига при проектировании топологии интегральных схем на параллельной вычислительной системе с динамическим распределением задач : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / П. Г. Романовский, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Золотухина О.М. Причины разрушения кремниевых кристаллов БИС после монтажа в металлокерамические корпуса с применением золото-кремниевой эвтектики и их устранение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / О. М. Золотухина, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Гындя С.И. Исследование и разработка способов создания и применения аппаратных ускорителей при моделировании ЦУ БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / С. И. Гындя, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.Матвеева Н.К. Фото-и электронорезисты на основе полимерных лэнгмюровских пленок.Получение,свойства и применение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.17.06 / Н. К. Матвеева, 1992. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыБокша В.В. Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. В. Бокша, 1992. - 21 с. - Текст : непосредственный.Будза А.А. Разработка и исследование технологии выращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии базовых структур с гетеропереходами для ССИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат. / А. А. Будза, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.Сунь Чанку.Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / Сунь Чанку, 1994. - 17 с. - Текст : непосредственный.Козлитин А.И. Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. И. Козлитин, 1994. - 34 с. - Текст : непосредственный.Головин С.В. Разработка автоматизированных методик контроля и оптимизации технологии МОП-БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01 / С. В. Головин, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.А. Методы оценки и обеспечения долговечности контактных систем многослойной металлизации : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Смирнов, 1995. - 17 с. - Текст : непосредственный.Красников Г.Я. Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Г. Я. Красников, 1996. - 49 с. - Текст : непосредственный.Самойликов В.К. Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07;05.27.01 / В. К. Самойликов, 1996. - 49 с. - Текст : непосредственный.Семенов О.Ю. Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Семенов, 1996. - 26 с. - Текст : непосредственный.Райнова М.Ю. Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / М. Ю. Райнова, 1997. - 23 с. - Текст : непосредственный.Сырчин В.К. Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. К. Сырчин, 1997. - 41 с.ил. - Текст : непосредственный.Рощин В.М. Формирование и исследование свойств тонких пленок вольфрама, полученных при импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. М. Рощин, 1997. - 36 с. - Текст : непосредственный.Березин А.С. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / А. С. Березин, 1997. - 22 с. - Текст : непосредственный.Булыгина Е.В. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / Е. В. Булыгина, 1997. - 16 с. - Текст : непосредственный.Пономарь В.Н. Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. Н. Пономарь, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Сауров А.Н. Методы самоформирования в микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Сауров, 1999. - 46 с. - Текст : непосредственный.Чуканов С.В. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. В. Чуканов, 1999. - 24 с. - Текст : непосредственный.Шапоренко А.П. Исследование взаимодействия оксида бора с поверхностью Si(III)методом дифракции быстрых электронов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:01.04.07 / А. П. Шапоренко, 1999. - 20 с. - Текст : непосредственный.Горнев Е.С. Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / Е. С. Горнев, 2000. - 84 с. - Текст : непосредственный.Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / М. Г. Путря, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽