• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Д9-06/19238
    Киреев, В. Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. - М. : Техносфера, 2006. - 190 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр.: с. 188-190 (52 назв.). - 1500 экз. - ISBN 5-94836-039-3 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- производство
    Доп. точки доступа:
    Столяров, А.А.
    Экз-ры полностью Д9-06/19238
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽