Полное описание

96/478
Техника контроля и измерений с помощью электронных лучей / ТПП БССР. - [Б. м. : б. и.]. - 29 c. : ил. - яп. - Пер. ст. / Т. Ватанабэ из журн.: // Semiconductor World. - 1985. - N 8. - P.102-114. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:4 назв.
ГРНТИ 29.35.43 + 47.33.31

Рубрики:
Микроскопы электронные
Интегральные схемы

Кл.слова (ненормированные): техника контроля и измерений -- электронные микроскопы -- электронный луч -- субмикронная технология
Доп. точки доступа:
Ватанабэ, Т.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽