• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР96-5134
    Хамаев, В. А. Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.17.03 / В. А. Хамаев. - М. : [б. и.], 1996. - 32 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 29-32 (41 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84(043)
    Экз-ры полностью АР96-5134
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽