Полное описание
>
Хамаев, В. А. Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.17.03 / В. А. Хамаев. - М. : [б. и.], 1996. - 32 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 29-32 (41 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.33.31 | 621.3.049.77-047.84(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.
Нитрид алюминия и область его применения / ЦНИИТЭСТРОЙМАШ. - 14 с. - Текст : непосредственный.Схема разработки топологии СБИС / ВЦП МР. - 17 с. - Текст : непосредственный.Многополюсная модель схемы для оценок потери излучения и паразитной связи между нарушениями непрерывности в микрополосковых церях / ВЦП КР. - 16 с. - Текст : непосредственный.Плюсы и минусы полифенилхининоксалина (ПФХ) / ВЦП. - 11 c. - Текст : непосредственный.Исследования в области ИС ЗУ различных видов и поколений. Выбор ИС при проектировании систем и указания по их применению. Ч.3,4 / ВЦП. - 107 c. - Текст : непосредственный.Технические данные / ВЦП. - 48 c. - Текст : непосредственный.Левицкий Д.О. Методы логико-динамического и логико-структурного диагностирования матричных КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Д. О. Левицкий, 1991. - 25 с. - Текст : непосредственный.Ефанов В.А. Организация процесса трассировки матричных БИС и СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.13:05.13.12 / В. А. Ефанов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.Исюк В.И. Разработка математических и программных средств функционально-логического моделирования и тестирования КМОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.16 / В. И. Исюк, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Семенов Н.Е. Оптимизация методов проектирования топологии кристаллов с линейчатой структурой : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / Н. Е. Семенов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Шелепин Н.А. Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / Н. А. Шелепин, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Абачев М.К. Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогеносодержащих газах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. К. Абачев, 1990. - 26 с. - Текст : непосредственный.Мануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Сидоренко П.В. Исследование и разработка интегрированной САПР аналоговых БИС на БМК : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / П. В. Сидоренко, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Букунов С.В. Моделирование и исследование субмикронных транзисторных структур для монолитных интегральных схем СВЧ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / С. В. Букунов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Бачурин В.И. Управление параметрами линейных интегральных схем топологией инжекционных структур с использованием САПР : Дис..д-ра техн.наук в форме науч.докл.:05.13.01:05.13.12 / В. И. Бачурин, 1991. - 38 с. - Текст : непосредственный.Романовский П.Г. Оптимизация метода моделируемого отжига при проектировании топологии интегральных схем на параллельной вычислительной системе с динамическим распределением задач : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / П. Г. Романовский, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Золотухина О.М. Причины разрушения кремниевых кристаллов БИС после монтажа в металлокерамические корпуса с применением золото-кремниевой эвтектики и их устранение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / О. М. Золотухина, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Гындя С.И. Исследование и разработка способов создания и применения аппаратных ускорителей при моделировании ЦУ БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.12 / С. И. Гындя, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.Матвеева Н.К. Фото-и электронорезисты на основе полимерных лэнгмюровских пленок.Получение,свойства и применение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.17.06 / Н. К. Матвеева, 1992. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыГулидов Д.Н. Использование анизотропии свойств полуфабрикатов для оптимизации технологии кремниевых ИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Д. Н. Гулидов, 1992. - 50 с. - Текст : непосредственный.Квасов Н.Т. Динамические явления и твердофазные релаксационные процессы в кремнии при ионных и фотонных воздействиях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.07 / Н. Т. Квасов, 1992. - 53 с. - Текст : непосредственный.Ророкин В.М. Разработка бесщелочного стекла и технологии эмалированных титановых подложек для микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:02.00.04 / В. М. Ророкин, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.Журавлев А.В. Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. В. Журавлев, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.Голубев В.В. Исследование и разработка методов повышения эффективности контроля качества и надежности при производстве интегральных микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:08.00.20 / В. В. Голубев, 1993. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кононов В.Ю. Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Ю. Кононов, 1993. - 27 с. - Текст : непосредственный.Эмексузян В.М. Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. М. Эмексузян, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Крупенников О.Г. Повышение эффективности операции разрезания заготовок из полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины алмазными отрезными кругами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.08 / О. Г. Крупенников, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный.Ухов А.А. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов, 1995. - 14 с. - Текст : непосредственный.Левенец В.В. Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Левенец, 1994. - 19 с. - Текст : непосредственный.Поляков В.В. Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. В. Поляков, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Громов Д.Г. Исследование и разработка технологии получения термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Д. Г. Громов, 1996. - 25 с. - Текст : непосредственный.Хамаев В.А. Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.17.03 / В. А. Хамаев, 1996. - 32 с. - Текст : непосредственный.Суворинов А.В. Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / А. В. Суворинов, 1998. - 34 с. - Текст : непосредственный.Бутусов И.Ю. Неразрушающий электрический контроль структур SiO -Si в производстве МОП-транзисторов и МОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / И. Ю. Бутусов, 1998. - 18 с. - Текст : непосредственный.Резникова Е.Ф. Химическое осаждение металлических пленочных микроструктур из паров летучих соединений металлов с помощью мощного высокочастотного наносекундного импульсного ультрафиолетового лазера : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук:02.00.04 / Е. Ф. Резникова, 1998. - 22 с. - Текст : непосредственный.Крылов В.П. Электрофизика статистических и релаксационных процессорных средств параметрического контроля интегральных микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.13 / В. П. Крылов, 1998. - 31 с. - Текст : непосредственный.Зайцев Н.А. Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 06.27.01 / Н. А. Зайцев, 1994. - 51 с. - Текст : непосредственный.Мучинский А.Н. Численное моделирование диффузионных процессов в полупроводниках и электролитах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 / А. Н. Мучинский, 1998. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽