• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР96-0149
    Семенов, О. Ю. Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Семенов. - М. : [б. и.], 1996. - 26 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 25-26(10 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14.002(043)
    Экз-ры полностью АР96-0149
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽