• ВХОД
  •  

    Полное описание

    06927000287
    Материалы для микролитографии. Радиационно-чувствительные полимеры. Симпозиум ACS-серия 266 / ВЦП. - [Б. м. : б. и.]. - 110 с. : ил. . - Пер. ст. Materials for Microlitography. Radiation-Sensitive Polymers / M. J. Bowden из сб.: . - Washington, 1984. - P.39-41,106-117. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: 149 назв. -Основное заглавие источника отсутствует.
    ГРНТИ 47.09

    Рубрики:
    Полимеры

    Доп. точки доступа:
    Bowden, M. J.
    Экз-ры полностью 06927000287
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽