• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР95-5698
    Борун, А. Ф. Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. Ф. Борун. - М. : [б. и.], 1995. - 30 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). Библиогр.:с.29-30 (7 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.09.31621.382-03(043)
    Экз-ры полностью АР95-5698
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽