Полное описание
>
Верховский, Е. И. Лазерная технология в производстве интегральных микросхем : учеб. пособие для ПТУ / Е.И.Верховский. - М. : Высш. шк., 1990. - 56 c. : ил. - 12400 экз. - ISBN 5-06-001078-3 : 00.10 р. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.35 | 621.3.049.77-047.84:621.37(075.3) |
Рубрики:
Интегральные схемы -- Обработка лазерная
Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- лазерная обработка>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Масычев В.И. Разработка лазерного технологического оборудования управляемого объемного и поверхностного нагрева материалов электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. И. Масычев, 1997. - 43 с. - Текст : непосредственный.Жариков В.М. Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.07 / В. М. Жариков, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный.Большепаев О.Ю. Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Большепаев, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный.Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный.Прудник А.М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.Абрамишвили А.Д. Кристаллизация твердых растворов селенида свинца-селенида олова из паровой фазы под воздействием лазерного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. Д. Абрамишвили, 1991. - Текст : непосредственный.Горбаренко В.А. Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / В. А. Горбаренко, 1991. - 40 с. - Текст : непосредственный.Кияк С.Г. Модификация поверхности полупроводников лазерными импульсами миллисекундного и секундного диапазонов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / С. Г. Кияк, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Новрузов В.Д. Влияние лазерного излучения на фотоэлектрические свойства Cu S-CdS гетероструктур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. Д. Новрузов, 1990. - 21 с. - Текст : непосредственный.Левин А.Ю. Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Ю. Левин, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный.Новиков А.А. Физико-химические основы синтеза медь-фосфатных стеклообразных покрытий при воздействии лазерного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени Л. / А. А. Новиков, 1990. - 40 с. - Текст : непосредственный.Шахно Е.А. Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка : автореф. дис. .. д-ра техн. наук : 05.27.03 / Е. А. Шахно, 2002. - 28 с. - Текст : непосредственный.Волкова Е.А. Моделирование лазерно-стимулированных процессов травления и осаждения в микротехнологии / Е. А. Волкова, А. С. Ковалев, А. М. Попов, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. II(1463) : Лазерная размерная обработка материалов, применяемых в электронной технике : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1969-1989 гг.ч. 2. Обработка металлов / Т.Н.Соколова,Л.А.Сурменко, 1989. - 52 с. - Текст : непосредственный.Альтудов Ю.К. Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Ю.К.Альтудов,А.Г.Гарицын, 2001. - 631 с. - Текст : непосредственный.Верховский Е.И. Лазерная технология в производстве интегральных микросхем : Учеб. пособие для ПТУ / Е.И.Верховский, 1990. - 56 c. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 6(1440) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной техникеч. 1. Лазерный эрозионный факел и его основные свойства / Л.А.Сурменко,Ю.Д.Самаркин,Т.Л.Якушева,Н.Н.Федосенко, 1989. - 52 с. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 10(1543) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной технике : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1972-1989 гг.Ч. 2. Осаждение из лазерного эрозионного факела,формирование покрытия,свойства пленок / Ю.Д.Самаркин,Л.А.Сурменко,Т.Л.Якушева, 1990. - 53 с. - Текст : непосредственный.Масленицын С.Ф. Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом / С.Ф.Масленицын,В.Б.Световой, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6816 : Thermische und elektrische Leitpfade in Cordierit durch lasergestutztes Dispergieren von metallischen Hartstoffen und Wolfram : Diss. / S.Schreck, 2003. - VI,153 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽