• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР91-6657
    Ерохин, Ю. Н. Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:05.27.01 / Ю. Н. Ерохин. - М. : [б. и.], 1991. - 14 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: АН ССР,Ин-т пробл.технологии микроэлектроники и особочистых материалов. Библиогр.: с. 13-14(10назв.).
    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.002:669(043)
    Экз-ры полностью АР91-6657
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкфш. Шифр МФ



    Заказ фрагмента документа ₽