• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР95-1267
    Никифоров, А. И. Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. И. Никифоров. - Новосибирск : [б. и.], 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Рос.АН, Сиб.отд-ние, Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: с.15-16 (15 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.002:669(043)
    Экз-ры полностью АР95-1267
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽