• ВХОД
  •  

    Полное описание

    W8874/1999,Vol.17,N 6
    International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (43rd ; 1999 ; Marriott Resort Marco Island(Fl)). Papers from 43rd international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication, 1-4 Jun.1999, Marriott Resort Marco Island(Fl) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (43rd ; 1999 ; Marriott Resort Marco Island(Fl)) ; Ed. J. Wolfe. - New York, 1999. - 2397-3566 p. p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology, ISSN 0734-211X ; 1999,Vol.17,N 6). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7(062)
    47.13.33621.3.049.76.002(062)

    Рубрики:
    Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): электронные пучки -- электронно-ионная обработка -- микроэлектронный прибор
    Доп. точки доступа:
    Wolfe, J.\ed.\
    Экз-ры полностью W8874/1999,Vol.17,N 6
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽