• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР94-3893
    Панков, В. В. Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Панков. - Минск : [б. и.], 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с.19-20(14 назв).
    ГРНТИ УДК
    47.03.11681.7.064.45.02-047.58(043)
    Экз-ры полностью АР94-3893
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽