• ВХОД
  •  

    Полное описание

    R/7309/1088
    Optical/laser microlithography II : proc.of the meet.,1-3 March 1989,San Jose(Ca) / Ed. B. J. Lin. - Bellingham(Wa) : [s. n.], 1989. - VIII,572 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1088). - ISBN 0-8194-0123-4 : 45.00 р. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст.Указ.:с.570
    ГРНТИ УДК
    47.13.17621.3.049.77-047.84:776(062)

    Рубрики:
    Фотолитография -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): фотолитография
    Доп. точки доступа:
    Lin, B.J.\ed.\
    Экз-ры полностью R/7309/1088
    Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
    Свободны: ХР (1), (2)
    Копия:



    Заказ фрагмента документа ₽