Приложение
для AndroidПолное описание
Mieroprocess'89 : proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama. - Tokyo : [s. n.], 1989. - 385 p. : ill. - (Japanese journal of applied physics: JJAP series, ISSN 0914-9090 ; n3). - ISBN 4-900526-03-7 : 59.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст.Указ. в конце кн.
Перевод заглавия: Микропроцессъ89:Труды межд. симп. 1989 Кобе
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.77-047.84:776(062) |
Рубрики:
Фотолитография -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): фотолитография
Доп. точки доступа:
Namba, S.\ed.\
Kitayama, T.\ed.\
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:
Mieroprocess'89 : Proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama, 1989. - 385 p. - Текст : непосредственный.Superconducting materials : Rep. on spec. project research min. of education, science a. culture, Japan, N 106 new superconducting materials (1984-1986) a. N 62124002 high temperature oxide superconductors (1987) / Ed.: S. Nakajima, H. Fukuyama, 1988. - XXIII,289 p. p. - Текст : непосредственный.Lattice defects in ceramics : Proc. of the Jap.-France seminar on lattice defects in ceramics, Tokyo, 3-6 July 1989 / Ed.: T. Suzuki, S. Takeuchi, 1989. - 189 p. - Текст : непосредственный.
Химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.Оскар Хосе Араика Ривера.Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Оскар Хосе Араика Ривера, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, модель DAD-2H/6T, DAD-2H/6TM (Часть II) / ВЦП. - 124 c. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы.В 2-х кн. / ВЦП. - 106 с. - Текст : непосредственный.Диффузионная сварка кремния / ВЦП. - 9 c. - Текст : непосредственный.Ангер Вакумат. Документация / ВЦП. - 41 c. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Волков А.Б. Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Аршук Е.П. Автоматизация финишной обработки выпрямительных полупроводниковых диодов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / Е. П. Аршук, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кривошеев Ю.К. Процессы тепло- и массопереноса в технологиях газофазного синтеза материалов для волоконной оптики и микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / Ю. К. Кривошеев, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыMaskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht: Tagung Munchen, 8.Nov.1990 / VDI/VDE-Gas, Feinwerktechnik, 1990. - 155 S. - Текст : непосредственный.Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagung,Munchen,14.Nov.1991, 1991. - 137 S. - Текст : непосредственный.Microcircuit engineering 92 : Proc.of the intern.conf.on microfabrication,held Sept.21-24,1992,Erlangen / Ed.: H. Ryssel, D. Stephani, 1993. - 500 p. - Текст : непосредственный.Microcircuit engineering 91 : Proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti, 1992. - XVII,582 p. p. - Текст : непосредственный.Mieroprocess'89 : Proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama, 1989. - 385 p. - Текст : непосредственный.Optical/laser microlithography II : Proc.of the meet.,1-3 March 1989,San Jose(Ca) / Ed. B. J. Lin, 1989. - VIII,572 p. p. - Текст : непосредственный.Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : Proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek, 1989. - VII,206 p. p. - Текст : непосредственный.Polymers in microlithography: Materials and processes : Developed from a symp. at the 197th Mat.meet. of the Amer.chem.soc., Dallas(Tx), Apr.9-14,1989 / Ed. E. Reichmanis, 1989. - XII, 449 p. 449 p. - Текст : непосредственный.Dry processing for submicrometer lithography : Proc,of the meet., 12-13 Oct.1989, Santa Clara(Ca) / Alliot P. ; ed. J. Bondur, ed. A. R. Reinberg, 1989. - VII, 307 p. 307 p. - Текст : непосредственный.Третий всесоюзный семинар "Микролитография" : Тез. докл. / "Микролитография", всесоюзный семинар (3 ; 1990 ; Черноголовка) , 1990. - 252 c. - Текст : непосредственный.Труды научного совета. Т. 3(1) : Материалы научного семинара по теме: "Коррекция эффектов оптической близости в литографии", НИИМЭ, Москва, 30 января 2019 г. / председатель Г. Я. Красников, 2019. - 146 с.
Заказ фрагмента документа ₽