• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР94-2646
    Трубин, И. С. Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. С. Трубин. - М. : [б. и.], 1994. - 22 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.гос.акад.тонкой хим.технологии им.М.В.Ломоносова. Библиогр.: с.22(4 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.01.76331.453:621.38(043)
    504.06(043)
    Экз-ры полностью АР94-2646
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽