Приложение
для AndroidПолное описание
Суетин, Н. В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин. - М. : [б. и.], 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: МГУ им.М.В.Ломоносова,НИИ ядер.физики. Библиогр.: с.18-22(34 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.77-047.84(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.
Химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.Оскар Хосе Араика Ривера.Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Оскар Хосе Араика Ривера, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, модель DAD-2H/6T, DAD-2H/6TM (Часть II) / ВЦП. - 124 c. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы.В 2-х кн. / ВЦП. - 106 с. - Текст : непосредственный.Диффузионная сварка кремния / ВЦП. - 9 c. - Текст : непосредственный.Ангер Вакумат. Документация / ВЦП. - 41 c. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Волков А.Б. Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Аршук Е.П. Автоматизация финишной обработки выпрямительных полупроводниковых диодов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / Е. П. Аршук, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кривошеев Ю.К. Процессы тепло- и массопереноса в технологиях газофазного синтеза материалов для волоконной оптики и микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / Ю. К. Кривошеев, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыГулидов Д.Н. Использование анизотропии свойств полуфабрикатов для оптимизации технологии кремниевых ИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Д. Н. Гулидов, 1992. - 50 с. - Текст : непосредственный.Квасов Н.Т. Динамические явления и твердофазные релаксационные процессы в кремнии при ионных и фотонных воздействиях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.07 / Н. Т. Квасов, 1992. - 53 с. - Текст : непосредственный.Ророкин В.М. Разработка бесщелочного стекла и технологии эмалированных титановых подложек для микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:02.00.04 / В. М. Ророкин, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.Журавлев А.В. Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. В. Журавлев, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.Голубев В.В. Исследование и разработка методов повышения эффективности контроля качества и надежности при производстве интегральных микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:08.00.20 / В. В. Голубев, 1993. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кононов В.Ю. Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Ю. Кононов, 1993. - 27 с. - Текст : непосредственный.Эмексузян В.М. Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. М. Эмексузян, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Крупенников О.Г. Повышение эффективности операции разрезания заготовок из полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины алмазными отрезными кругами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.08 / О. Г. Крупенников, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный.Ухов А.А. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов, 1995. - 14 с. - Текст : непосредственный.Левенец В.В. Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Левенец, 1994. - 19 с. - Текст : непосредственный.Поляков В.В. Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. В. Поляков, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Громов Д.Г. Исследование и разработка технологии получения термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Д. Г. Громов, 1996. - 25 с. - Текст : непосредственный.Хамаев В.А. Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.17.03 / В. А. Хамаев, 1996. - 32 с. - Текст : непосредственный.Суворинов А.В. Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / А. В. Суворинов, 1998. - 34 с. - Текст : непосредственный.Бутусов И.Ю. Неразрушающий электрический контроль структур SiO -Si в производстве МОП-транзисторов и МОП БИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / И. Ю. Бутусов, 1998. - 18 с. - Текст : непосредственный.Резникова Е.Ф. Химическое осаждение металлических пленочных микроструктур из паров летучих соединений металлов с помощью мощного высокочастотного наносекундного импульсного ультрафиолетового лазера : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук:02.00.04 / Е. Ф. Резникова, 1998. - 22 с. - Текст : непосредственный.Крылов В.П. Электрофизика статистических и релаксационных процессорных средств параметрического контроля интегральных микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.13 / В. П. Крылов, 1998. - 31 с. - Текст : непосредственный.Зайцев Н.А. Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 06.27.01 / Н. А. Зайцев, 1994. - 51 с. - Текст : непосредственный.Мучинский А.Н. Численное моделирование диффузионных процессов в полупроводниках и электролитах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 / А. Н. Мучинский, 1998. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽