Полное описание
>
Microelectronics and nanometer structures: processing,measurement, and phenomena : papers from the 4th intern.workshop on the measurement and characterization of ultra-shallow doping profiles in semiconductors,S.l.,S.a. / Ed. G. E. McGuire. - New York, 1998. - 482 p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; 1998,Vol.16,N 1). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.33.37 | 621.3.049.76(062) |
Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
McGuire, G.E.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
Papers from the eighth International conference on scanning tunneling microscopy/spectroscopy and related techniques / International conference on scanning tunneling microscopy/spectroscopy and related techniques (1996 ; New York) , 1996. - 585-1576 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 39th International conference on electron,ion and photon beam technology and nanofabrication / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (39 ; 1995 ; S.l.) , 1995. - A22,2153-3235 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the eighth International vacuum microelectronics conference ,31 July-3 Aug.1995,Portland (Or) and Papers from the 15th North American conference on molecular beam epitaxy,17-20 Sept.1995,College Park(Md) / IVMC'95, 1996. - 1577-2398 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from ninth international vacuum microelectronics conference : 7-12 July 1996,St.Petersburg / International vacuum microelectronics conference (9th ; 1996 ; St.Petersburg) , 1997. - 181-541 p. p. - Текст : непосредственный.Microelectronics and nanometer structures:Processing,measurement,and phenomena : Papers from the 24th annu.conf.on the physics and chemistry..and 4th intern.conf.on nanometer-scale science and technology ,New York,1997, 1997. - 763-1593 A24 p. A24 p. - Текст : непосредственный.Papers from the 41st international conference on electron,ion,and photon beam technology and nanofabrication,27-30 May 1997,Dona Point(Ca) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca) , 1997. - 1853-3075 p. p. - Текст : непосредственный.Microelectronics and nanometer structures: processing,measurement, and phenomena : Papers from the 4th intern.workshop on the measurement and characterization of ultra-shallow doping profiles in semiconductors,S.l.,S.a. / Ed. G. E. McGuire, 1998. - 482 p. - Текст : непосредственный.Papers from the 11th International vacuum microelectronics conference. Papers from the fourth International plasma-based ion implantation workshop / International vacuum microelectronics conference (11 ; 1999 ; New York) , 1999. - A18,259-904,A25 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 17th North American conference on molecular beam epitaxy, 4-7 Oct., 1998 / North American conference on molecular beam epitaxy (17th ; 1998 ; Pennsylvania) , 1999. - A20,905-1308 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 26th conference on the physics and chemistry of semiconductor interfaces, 17-21 Jan.1999, San Diego(Ca) / Conference on the physics and chemistry of semiconductor interfaces (26th ; 1999 ; San Diego(Ca)) , 1999. - 1309-1895 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the fifth International workshop on the measurement, characterization, and modeling of ultra-shallow doping profiles in semiconductors / International workshop on the measurement, characterization, and modeling of ultra-shallow doping profiles in semiconductors (5 ; [1999] ; S.l.) , 2000. - A15,606 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 14th international vacuum microelectronics conference, 12-16 Aug., 2001, Davis(Ca) / IVMC-2001, 2003. - A18,632 p. p. - Текст : непосредственный.
Фиксаторный конвертер для внутрисхемного тестирования плат р/п 2260-3360 и -3560. Фиксаторы 2270 и 2276 к рабочей станции по проверке плат / ВЦП. - 52 c. - Текст : непосредственный.Преобразователь контрольного приспособления для внутрисхемных испытаний N 2260-3315 / ВЦП. - 36 c. - Текст : непосредственный.Преобразователь контрольного приспособления для внутрисхемных испытаний N 2260-3325 / ВЦП. - 34 c. - Текст : непосредственный.Преобразователь контрольного приспособления для внутрисхемных испытаний NN 2260-3329 и 2260-3526 / ВЦП. - 53 c. - Текст : непосредственный.Конвертер для устройства тестирования плат / ВЦП. - 34 c. - Текст : непосредственный.Якименко И.И. Теория электронного транспорта в молекулярных организатах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.02 / И. И. Якименко, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Бжеумихов А.А. Двухканальный метод стоячих рентгеновских волн в исследовании поверхностных слоев монокристаллов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. А. Бжеумихов, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Марущенко С.Г. Исследование методов и разработка алгоритмов обработки электронно-микроскопических изображений с целью диагностики микроэлектронных приборов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / С. Г. Марущенко, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Леонов Ю.С. Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук:01.04.10 / Ю. С. Леонов, 1990. - 30 с. - Текст : непосредственный.Алиев В.Ш. Исследование взаимодействия дифторида ксенона с поверхностью кремния при воздействии ионного облучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.04 / В. Ш. Алиев, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : Дис..д-ра хим.наук в форме науч.докл:02.00.04 / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный.Щапова И.А. Эллипсометрический метод контроля параметров сложных диэлектрических структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. А. Щапова, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Меликян О.Г. Теория дифракции рентгеновских лучей на идеальных кристаллах и гетероструктурах в условиях скользящего падения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / О. Г. Меликян, 1991. - 13 с. - Текст : непосредственный.Курбанов Х. Разработка, исследование и освоение технологии производства изделий из коррозионно-стойких сплавов на основе алюминия методами пластического деформирования для микроэлектроники и электротехники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.16.05 / Х. Курбанов, 1991. - 39 с. - Текст : непосредственный.Старовойтов Д.А. Математические методы вычислительной диагностики изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-=мат.наук:05.13.16 / Д. А. Старовойтов, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Гуськова И.Г. Разработка методов проектирования упругодеформируемых микроприводов прямолинейного типа и создание функциональных устройств на их основе для работы в особо чистых средах и высоком вакууме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / И. Г. Гуськова, 1992. - 25 с. - Текст : непосредственный.Филин С.А. Технология высокоэффективной очистки твердотельных микроэлектронных структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / С. А. Филин, 1992. - 20 с. - Текст : непосредственный.Чапланов А.М. Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:05.27.01 / А. М. Чапланов, 1992. - 32 с. - Текст : непосредственный.Редин В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин, 1992. - 41 с. - Текст : непосредственный.Гамарц Е.М. Контроль информативных параметров полупроводниковых пластин и структур в микроэлектронике оптическими методами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.10 / Е. М. Гамарц, 1992. - 32 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыImpulse der Mikroelektronik fur Energiesysteme : Tagung,Darmstadt,7.-8.Marz 1990 / VDI-Ges. Energietechnik, 1990. - 105 S. - Текст : непосредственный.Nanostructures: physics and technology: International symposium,St.Petersburg,Russia,June 13-18,1993:Abstracts of invited lectures and contributed papers / Ed.P.Kop'ev, 1993. - 141 c. - Текст : непосредственный.Innovative developments and applications of microelectronics and information technology : Proc.of congress:2nd German-Chinese electronics week,Oct.7th-11th,1991,Shanghai / ed. E. Raubold, 1991. - 555 p. - Текст : непосредственный.Nanostructures: physics and technology : Abstracts of invited lectures and contributed papers / International symposium, St.PetersburgMikroelektronik : Votr@:age der GME-Fachtagung 4.bis 6.Marz 1991,Baden-Baden / Wiss.Tagungsleiter:Zimmer G., 1991. - 422 S. - Текст : непосредственный.Single-electron tunneling and mesoscopic devices : Proc.of the 4th intern.conf.on superconducting and quantum effect devices and their applications,June 18-21,1991,Berlin / SQUID'91, 1992. - X,307 p. p. - Текст : непосредственный.Molecular and biomolecular electronics : Developed from a symp. ..at the 4th chem.congr.of North America(202nd nat.meet.of the Amer.chem.soc.),New York,Aug.25-30 1991 / American chemical society (Washington), 1994. - XII,596 p. p. - Текст : непосредственный.Межвузовская научно-техническая конференция "Микроэлектроника и информатика", 12-14 апр. 1995 г : Тез. докл. / "Микроэлектроника и информатика", межвузовская науч.-техническая конф. (1995 ; Москва) , 1995. - 268 c. - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 94 : Proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.26-29,1994,Davos / Ed. H. W. Lehmann, 1995. - XVII,564 p. p. - Текст : непосредственный.Nanostructures: physics and technology : Intern.symposiumAbstracts of invited lectures and contributed papers,St Petersburg,Russia,June 26-30, 1995 / Russian academy of sciences, 1995. - 462 c. - Текст : непосредственный.Papers from the 3rd international conference on nanometer-scale science and technology,held in Denver(Co),Oct.24-28,1994 / NANO 3, 1995. - 805-1390 p. p. - Текст : непосредственный.Nano-molecular electronics : Papers presented at the intern.workshop on nano-molecular electronics,held in Kobe,Dec.12-13,1994 / Ed. M. Iwamoto, 1995. - 3775-3954 p. p. - Текст : непосредственный.Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники : Тез. докл. Всерос. науч.-техн. конф. с междунар. участием (г. Таганрог, 26-29 июня 1994 г.) / Редкол.: Коноплев Б.Г. (отв. ред.) и др. Ч. 1, 1994. - 122 с. - Текст : непосредственный.Российская научно-техническая конференция "Новые материалы и технологии" 21-22 ноября 1995 г : Тез. докл.Направление: Технол. процессы и материалы приборостроения и микроэлектроники / "Новые материалы и технологии", российская науч.-техническая конф. (1995 ; Москва) , 1995. - 59 c. - Текст : непосредственный.Российская научно-техническая конференция "Новые материалы и технологии" : 3-4 ноября 1994 г.Тез.докл.Направление:Технол.процессы и материалы приборостроения и микроэлектроники / "Новые материалы и технологии", российская науч.-техническая конф. (1994 ; Москва) , 1994. - 60 c. - Текст : непосредственный.Lower-dimensional systems and molecular electronics : Proc.of a NATO advanced study inst.on lower-dimensional systems and molecular electronics,June 12-23 1989,Spetses Island,Greece / ed. R. M. Metzger, 1990. - XIV,742 p. p. - Текст : непосредственный.Межвузовская научно-техническая конференция "Микроэлектроника и информатика" : Тез.докл. / Под ред. В.Ю.Пустовита, 1996. - 271 c. - Текст : непосредственный.Ultimate limits of fabrication and measurement : Proc.of the NATO advanced research workshop on ultimate limits of fabrication and measurement,Cambridge,Apr.1-3,1994 / ed. M. E. Welland, ed. J. K. Gimzewski, 1995. - X,254 p. p. - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : Proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.25-29,1995,Aix en Provence / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.European custom microelectronics issue : IEEE Intern.electron device meet.,Washington(DC),1993 / IEDM, 1994. - XXVI,145-252 p. p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽