Приложение
для AndroidПолное описание
621.79/Ш 241
Шаповалов, Виктор Иванович. Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2024. - 139 с. : ил. - Библиогр.: с. 127-139 (167 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7629-3458-9 : 23.65 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 55.22.19 | 621.793.184.06 |
Рубрики:
Магнетронные распылительные системы
Кл.слова (ненормированные): металлические пленки -- осаждение из газовой фазы -- магнетроны -- рабочий процесс -- инертная среда -- реактивное распыление -- тепловые расчеты
Аннотация: Изложены результаты теоретических и экспериментальных исследований авторов, посвященных изучению тепловых процессов на мишени и подложке при магнетронном распылении. Внимание уделено особенностям распыления металлических мишеней в инертной и реактивной средах, численному моделированию реактивного распыления, численному моделированию тепловых процессов и обсуждению экспериментальных результатов. Издание предназначено научным работникам и инженерам, чья работа связана с осаждением пленок, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Доп. точки доступа:
Шарковский, Даниил Сергеевич
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)
Обложка
Козин, Александр Андреевич. Технология перспективных материалов : учебно-методическое пособие / А. А. Козин, В. И. Шаповалов, 2019. - 99 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Пленки нитридов / А. А. Козин, А. В. Кочин, А. В. Рудаков [и др.] ; под редакцией В. И. Шаповалова, 2020. - 269 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Карпов, Дмитрий Алексеевич. Плазменные технологии для модификации поверхности, синтеза наноматериалов и использования в водородной энергетике / Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский ; под редакцией В. И. Шаповалова, 2020. - 394 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Шаповалов, Виктор Иванович. Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, 2024. - 139 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Теория и практика многокритериальной оценки и выбора решений по методу расстояния до цели : монография / С. Ф. Вольвак, В. И. Шаповалов, A. Г. Пастухов [и др.], 2025. - 184 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Радиоэлектроника / Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Журнал выходит с 2002г. - Текст : непосредственный.Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ" : ежемесячный журнал / Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Журнал выходит с 2008г. - Текст : непосредственный.Петербургский экономический журнал : научно-практический рецензируемый журнал / Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Журнал выходит с 2013г. - Текст : непосредственный.Горячев А.В. Эволюционные методы анализа и синтеза проектных решений / А. В. Горячев, Н. Е. Новакова, 2016. - 159 с.Эргономическая экспертиза и проектирование пользовательских интерфейсов : учебное пособие / Е. А. Бурков [и др.], 2017. - 47 с. - Текст : непосредственный.Обухова Н.А. Компьютерный синтез и анимация трехмерных изображений : учебное пособие / Н. А. Обухова, А. А. Мотыко, 2016. - 123 с. - Текст : непосредственный.Электротехнологические комплексы на основе управляемого газового разряда / А. А. Лисенков [и др.], 2016. - 153 с. - Текст : непосредственный.Кошелев, П. А. Компьютерно-информационные технологии анализа и синтеза электротехнических комплексов (ЭТК) : учебное пособие : [в 2 ч.]. Ч. 2 : Нелинейные и нестационарные динамические системы, 2016. - 27 с. - Текст : непосредственный.Кошелев, П. А. Компьютерно-информационные технологии анализа и синтеза электротехнических комплексов (ЭТК) : учебное пособие : [в 2 ч.]. Ч. 1 : Линейные динамические системы, 2016. - 33 с.Гупалов В.И. Проектирование приборов и систем : учебное пособие / В. И. Гупалов, С. Ю. Шевченко, 2015. - 89 с.Аналоговая схемотехника. Источники питания и усилители мощности : учебно-методическое пособие / А. А. Ухов [и др.], 2017. - 47 с.Чурганова С.С. Оптика и атомная физика : учебное пособие / С. С. Чурганова, И. А. Черемухина, 2017. - 56 с.Виолина Г.Н. Физика полупроводников / Г. Н. Виолина, В. И. Зубков, 2017. - 106 с.Иванов С.Г. Лекции по линейной алгебре и геометрии : учебное пособие / С. Г. Иванов, Е. А. Толкачева, А. В. Чирина, 2017. - 32 с.Бруслиновский Б.В. Нелинейные системы управления : учебное пособие / Б. В. Бруслиновский, Н. А. Доброскок, А. В. Морозов, 2017. - 88 с.Нисковский А.В. Проектирование и администрирование сетей : учебно-методическое пособие / А. В. Нисковский, А. А. Андреева, 2016. - 54 с.Горелая А.В. Физические основы получения информации оптическими методами : учебное пособие / А. В. Горелая, Ю. В. Филатов, 2016. - 60 с.Трубникова А.Г. Организация работы отдела рекламы и связей с общественностью : учебное пособие / А. Г. Трубникова, 2017. - 79 с.Мардас А.Н. Непараметрические методы в стратегическом анализе неравновесной экономики / А. Н. Мардас, О. А. Гуляева, Д. А. Мардас, 2016. - 106 с.Баянов В.А. Кинетические методы анализа : учебное пособие / В. А. Баянов, О. В. Рахимова, 2017. - 31 с.
Показать все результатыВытягивание широкого пучка из нового ионного источника распылительного типа при помощи электрического зеркала / ВЦП.Киев.ред. - 11 с. - Текст : непосредственный.Анодная дуга в вакууме и ее применение для нанесения покрытий / ВЦП.Киев.ред. - 15 с. - Текст : непосредственный.Эксплуатация системы непосредственной рекуперации ванн для хромирования с испарителями IMPCHROM / ВЦП. - 24 с. - Текст : непосредственный.Нанесение абразивных композиционных покрытий гальваническим способом / ВЦП. - 9 с. - Текст : непосредственный.Инженерная обработка поверхности электропокрытием / ВЦП. - 8 c. - Текст : непосредственный.Химическое никелирование - износостойкое покрытие / ВЦП. - 17 c. - Текст : непосредственный.Структурные и электрические свойства пленок из зернистого металла / Ин-т сверхтвердых материалов. - 74 c. - Текст : непосредственный.Устинов Ю.Н. Электрическая проводимость бинарных и многокомпонентных систем,содержащих катионы меди,цинка,кадмия при Т=293-363 К : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.04 / Ю. Н. Устинов, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Саркис Дарудж.Электролитическое окрашивание анодированного алюминия оловом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.04 / Саркис Дарудж, 1991. - 13 с. - Текст : непосредственный.Федорченко А.И. Гидродинамика и теплообмен при взаимодействии "расплавленная частица-поверхность" : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / А. И. Федорченко, 1990. - 22 с. - Текст : непосредственный.Брянский Б.Я. Анодное поведение кадмия,олова и цинка в щелочных цианистых растворах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.05 / Б. Я. Брянский, 1990. - 17 с. - Текст : непосредственный.Калниньш У.И. Разработка парогенератора системы вакуумного напыления и исследование испарения и конденсации магния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.14 / У. И. Калниньш, 1991. - 20 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Т.С. Диффузионные процессы в приповерхностной области твердого тела : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / Т. С. Смирнова, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Ревин А.Г. Оптимизация управления одним классом конвейерных систем с операторами переноса : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.01 / А. Г. Ревин, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Шматко И.О. Структурообразование гальванофоретических покрытий на основе тугоплавких соединений при жидкофазном спекании и разработка технологии получения износостойких покрытий : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.10.01 / И. О. Шматко, 1991. - 25 с. - Текст : непосредственный.Дегтярев А.И. Повышение качества плазменно-напыленных покрытий послойной микроплазменной обработкой : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.06 / А. И. Дегтярев, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный.Гусев Е.П. Образование оксидной фазы на поверхности твердого тела при субмонослойных покрытиях как фазовый переход первого рода : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / Е. П. Гусев, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Агуф М.И. Термодинамические и кинетические закономерности электролитического образования сплава серебро-кадмий : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.05 / М. И. Агуф, 1991. - 20 с. - Текст : непосредственный.Кузнецова С.В. Электроосаждение гафния из хлоридно-фторидных расплавов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.16.03 / С. В. Кузнецова, 1991. - 18 с. - Текст : непосредственный.Джасем Мухаммед Абдель Захра.Технологическое обеспечение ресурса деталей машин,работающих в условиях фреттинг-коррозии,плазменным напылением : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.08 / Джасем Мухаммед Абдель Захра, 1991. - 17 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыFella R. Herstellung, Aufbau, Eigenschaften und Anwendungsverhalten von metastabilen Schichten aus dem System Ti-Si-C-N : Diss. / R.Fella, 1992. - 188 S. - Текст : непосредственный.Hilz G. Zum Einfluss innerer Grenzflachen auf Aufbau und Eigenschaften mehrphasiger Hartstoffschichten : Diss. / G.Hilz, 1992. - 199 S. - Текст : непосредственный.Neuffer A. Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle : Diss. / A.Neuffer, 1999. - 113 S. - Текст : непосредственный.Марахтанов М.К. Магнетронные системы ионного распыления. Основы теории и расчета : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ион. распыления" / М.К.Марахтанов;Под ред. С. Д. Гришина, 1990. - 76 c. - Текст : непосредственный.Козин А.А. Магнетрон с горячей мишенью / А. А. Козин, Е. А. Минжулина, В. И. Шаповалов, 2019. - 213 с. - Текст : непосредственный.Шаповалов, Виктор Иванович. Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, 2024. - 139 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Черкасов, Александр Алексеевич. Сильноточный импульсный магнетронный разряд с инжекцией электронов из плазмы вакуумной дуги для осаждения покрытий и генерации ионных пучков : специальность 2.2.1 - вакуумная и плазменная электроника : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Черкасов Александр Алексеевич, 2025. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Зиганшин Р.Р. Теоретические основы и экспериментальное исследование ионно-плазменных потоков с целью создания комплекса крупногабаритного оборудования для нанесения и испытания покрытий : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 01.02.05,01.04.14 / Р. Р. Зиганшин, 1998. - 43 с. - Текст : непосредственный.Чумаков С.Н. Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.20 / С. Н. Чумаков, 1999. - 10 с. - Текст : непосредственный.Марахтанов М.К. Магнетронные системы ионного распыления. Основы теории и расчета : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ион. распыления" / М.К.Марахтанов;Под ред. С. Д. Гришина, 1990. - 76 c. - Текст : непосредственный.Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.27.02 / А. Н. Захаров, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кострин, Дмитрий Константинович. Ионно-плазменные источники для плазмохимического синтеза функциональных покрытий / Д. К. Кострин, А. А. Лисенков, А. И. Кузьмичев, 2019. - 165 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Труды постоянно действующего научно-технического семинара "Электровакуумная техника и технология" / под редакцией А. В. Горина. Т. 5 / НИИ ЭМ МГТУ им. Н. Э. Баумана [и др.], 2018. - 156 с. - Текст : непосредственный.Шаповалов, Виктор Иванович. Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, 2024. - 139 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Черкасов, Александр Алексеевич. Сильноточный импульсный магнетронный разряд с инжекцией электронов из плазмы вакуумной дуги для осаждения покрытий и генерации ионных пучков : специальность 2.2.1 - вакуумная и плазменная электроника : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Черкасов Александр Алексеевич, 2025. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽