• ВХОД
  •  

    Полное описание

    W8873/1997,Vol.15,N 6
    International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca). Papers from the 41st international conference on electron,ion,and photon beam technology and nanofabrication,27-30 May 1997,Dona Point(Ca) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca) ; Ed. G. Owen. - New York, 1997. - 1853-3075 p. p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; 1997,Vol.15,N 6). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей
    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7(062)
    47.13.33621.3.049.76.002(062)

    Рубрики:
    Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): электронные пучки -- электронно-ионная обработка -- микроэлектронный прибор
    Доп. точки доступа:
    Owen, G.\ed.\
    Экз-ры полностью W8873/1997,Vol.15,N 6
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽