Полное описание
>
International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca). Papers from the 41st international conference on electron,ion,and photon beam technology and nanofabrication,27-30 May 1997,Dona Point(Ca) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca) ; Ed. G. Owen. - New York, 1997. - 1853-3075 p. p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; 1997,Vol.15,N 6). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
| ГРНТИ | УДК | |
| 55.20.15 | 621.9.048.7(062) | |
| 47.13.33 | 621.3.049.76.002(062) |
Рубрики:
Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): электронные пучки -- электронно-ионная обработка -- микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Owen, G.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Papers from the eighth International conference on scanning tunneling microscopy/spectroscopy and related techniques / International conference on scanning tunneling microscopy/spectroscopy and related techniques (1996 ; New York) , 1996. - 585-1576 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 39th International conference on electron,ion and photon beam technology and nanofabrication / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (39 ; 1995 ; S.l.) , 1995. - A22,2153-3235 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the eighth International vacuum microelectronics conference ,31 July-3 Aug.1995,Portland (Or) and Papers from the 15th North American conference on molecular beam epitaxy,17-20 Sept.1995,College Park(Md) / IVMC'95, 1996. - 1577-2398 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from ninth international vacuum microelectronics conference : 7-12 July 1996,St.Petersburg / International vacuum microelectronics conference (9th ; 1996 ; St.Petersburg) , 1997. - 181-541 p. p. - Текст : непосредственный.Microelectronics and nanometer structures:Processing,measurement,and phenomena : Papers from the 24th annu.conf.on the physics and chemistry..and 4th intern.conf.on nanometer-scale science and technology ,New York,1997, 1997. - 763-1593 A24 p. A24 p. - Текст : непосредственный.Papers from the 41st international conference on electron,ion,and photon beam technology and nanofabrication,27-30 May 1997,Dona Point(Ca) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca) , 1997. - 1853-3075 p. p. - Текст : непосредственный.Microelectronics and nanometer structures: processing,measurement, and phenomena : Papers from the 4th intern.workshop on the measurement and characterization of ultra-shallow doping profiles in semiconductors,S.l.,S.a. / Ed. G. E. McGuire, 1998. - 482 p. - Текст : непосредственный.Papers from the 11th International vacuum microelectronics conference. Papers from the fourth International plasma-based ion implantation workshop / International vacuum microelectronics conference (11 ; 1999 ; New York) , 1999. - A18,259-904,A25 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 17th North American conference on molecular beam epitaxy, 4-7 Oct., 1998 / North American conference on molecular beam epitaxy (17th ; 1998 ; Pennsylvania) , 1999. - A20,905-1308 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 26th conference on the physics and chemistry of semiconductor interfaces, 17-21 Jan.1999, San Diego(Ca) / Conference on the physics and chemistry of semiconductor interfaces (26th ; 1999 ; San Diego(Ca)) , 1999. - 1309-1895 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the fifth International workshop on the measurement, characterization, and modeling of ultra-shallow doping profiles in semiconductors / International workshop on the measurement, characterization, and modeling of ultra-shallow doping profiles in semiconductors (5 ; [1999] ; S.l.) , 2000. - A15,606 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 14th international vacuum microelectronics conference, 12-16 Aug., 2001, Davis(Ca) / IVMC-2001, 2003. - A18,632 p. p. - Текст : непосредственный.
Робототехническая система для лазерной обработки / ТПП БССР. "Минсквнешсервис". - 16 с. - Текст : непосредственный.Сверление лазерным лучом / ВЦП. - 10 с. - Текст : непосредственный.Методы трехкоординатного образования микроструктуры с помощью эксимерных лазеров / ВЦП. - 12 c. - Текст : непосредственный.Нгуен Ван Чук.Оптимизация параметров процесса газолазерной резки (ГЛР) металлических листовых материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.07 / Нгуен Ван Чук, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Политов В.А. Электронно-лучевая технология получения припоев бинарных систем никель-кремний и никель-цирконий для пайки изделий из жаропрочных сплавов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.16.07 / В. А. Политов, 1991. - 17 с. - Текст : непосредственный.Ващенко С.В. Тепловые режимы поверхностной обработки металлических материалов электронным пучком : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.14 / С. В. Ващенко, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.Соленов С.В. Особенности изменений структур и механических свойств некоторых металлов и сплавов при лазерной обработке : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.16.01 / С. В. Соленов, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный.Мынбаев К.Д. Диффузионное и ионно-лучевое легирование Cd Hg Te : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / К. Д. Мынбаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Лучин В.И. Взаимодействие наносекундных лазерных импульсов средней интенсивности с твердыми мишенями : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.03 / В. И. Лучин, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Яресько С.И. Разработка способа импульсной лазерной поверхностной обработки вольфрамокобальтовых твердых сплавов с целью повышения стойкости инструмента,изготовленного на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.07 / С. И. Яресько, 1992. - 16 с. - Текст : непосредственный.Тамаров А.П. Повышение работоспособности быстрорежущего инструмента при обработке труднообрабатываемых материалов путем комплексного лазерного легирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.01 / А. П. Тамаров, 1992. - 23 с. - Текст : непосредственный.Шишковский И.В. Теоретическое моделирование физических процессов лазерной закалки сталей : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / И. В. Шишковский, 1992. - 21 с. - Текст : непосредственный.Тысченко И.Е. Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физико-мат.наук:01.04.10 / И. Е. Тысченко, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Углов С.А. Термохимические и электрические явления при импульсном плазменном воздействии излучения СО -лазера на переходные материалы : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.21 / С. А. Углов, 1992. - 22 с. - Текст : непосредственный.Грищенко О.В. Разработка методики экономического анализа процессов лазерной поверхностной обработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.экон.наук:08.00.05 / О. В. Грищенко, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Толопа А.М. Получение широкоапертурных потоков ионов и плазмы металлов и их применение для модификации поверхности материалов : Дис.в форме науч.докл..д-ра техн.наук:05.03.06 / А. М. Толопа, 1992. - 44 с. - Текст : непосредственный.Язовских В.М. Совершенствование технологий электронно-лучевой сварки и поверхностной обработки на основе исследования тепловых моделей и использования автоколебательных процессов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.03.06 / В. М. Язовских, 1993. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кабаева Г.Д. Повышение эффективности плазменной резки путем интенсификации теплообмена в полости реза : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.06 / Г. Д. Кабаева, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.Худобенко А.И. Лазерно-индуцированная генерация периодического рельефа на поверхности сред при пиролитических и фотохимических реакциях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.03 / А. И. Худобенко, 1992. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыTrends in der Produktionstechnik : Tagung,Dusseldorf,9.und 10.Okt.1990 / VDI-Ges.Produktionstechnik(ADB), 1990. - 287 S. - Текст : непосредственный.Proceedings of the workshops on the utilization of electron beams,held July 9 and 13,1992,Bangkok and Jakarta / Workshops on the utilization of electron beams (1992 ; Bangkok / Jakarta) , 1993. - XIV,189 p. p. - Текст : непосредственный.Laser applications for mechanical industry : Proc.of the NATO advanced study inst.on laser applications for mechanical industry Erice,4-16 Apr.,1992 / сост.ed. S. Martellucci, 1993. - 436 p. - Текст : непосредственный.Reports of first Russian-Chinese seminar of laser physics and laser technology / Russian-Chinese seminar of laser physics and laser technology (1 ; 1993 ; Krasnoyarsk) , 1994. - 98 c. - Текст : непосредственный.Структурно-морфологические основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий : Ш Межгос. семинарТез. докл., Обнинск, 14-16 июня 1995 г / Институт атомной энергетики (Обнинск), 1995. - 146 c. - Текст : непосредственный.Application of particle and laser beams in materials technology : Proc.of the NATO advanced study on application of particle and laser beams in materials technology Chialkidiki,May 8-21,1994 / Ed. P. Misaelides, 1995. - XI,678 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the 39th International conference on electron,ion and photon beam technology and nanofabrication / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (39 ; 1995 ; S.l.) , 1995. - A22,2153-3235 p. p. - Текст : непосредственный.Papers from the international conference on electron,ion, and photon beam technology and nanofabrication,Atlanta(Ga),28-31 May 1996 / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th ; 1996 ; Atlanta,Ga) , 1996. - 3413-4545 p. p. - Текст : непосредственный.Laser processing:surface treatment and film deposition : Proc.of the NATO Advanced study inst.on laser processing:surface treatment and film deposition,Sesimbra,Portugal,July 3-16,1994 / Ed. J. Mazumder, 1996. - XIV,944 p. p. - Текст : непосредственный.Структурно-морфологические основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий : Тез. докл. II семинара России и стран СНГ, 15-19 июня 1993 г. / Институт атомной энергетики (Обнинск), 1993. - 85 с. - Текст : непосредственный.Papers from the 41st international conference on electron,ion,and photon beam technology and nanofabrication,27-30 May 1997,Dona Point(Ca) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca) , 1997. - 1853-3075 p. p. - Текст : непосредственный.Лазерная технология и средства ее реализации : Науч.-техн. конф. / С.-Петербург. гос. техн. ун-т, 1997. - 99 с. - Текст : непосредственный.Laser materials processing III : Proc.of third symp.on laser materials processing, Chicago(Il) Sept.26-28,1988 / ed. J. Mazumder, ed. K. N. Mukherjee, 1989. - 253 мкф. - Текст : непосредственный.Surface engineering with high energy beams:Science and technology : Proc.of the 2nd IFHT seminar,Lisbon,Sept.25-27,1989 / International federation for heat treatment and surface engineering, 1990. - 601 p. - Текст : непосредственный.Power beam processing : electron,laser,plasma-arc Proc.of the intern.power beam conf.2-4 May 1988, San Diego(Ca) / Sponsored by ASM intern.and the Edison welding inst., 1988. - VIII,220 p. p. - Текст : непосредственный.Взаимодействие ионов с поверхностью : ВИП-14:Материалы 14-й Междунар.конф.,30 авг.-3 сент.1999 г.,Звенигород / Российская академия наук. Научный совет по физике плазмы. Т. 1, 1999. - 384 с. - Текст : непосредственный.Взаимодействие ионов с поверхностью : ВИП-14:Материалы 14-й Междунар.конф.,30 авг.-3 сент.1999 г.,Звенигород / Российская академия наук. Научный совет по физике плазмы. Т. 2, 1999. - 360 с. - Текст : непосредственный.Proceedings of the workshops on the utilization..Malaysia and Indonesia on 17 and 20 July 1990 : Mfiche (2) / Workshop on the utilization of electron beams (1990 ; Malaysia/Indonesia) , 1990. - 168 мкфш. - Текст : непосредственный.Структурно-морфологические основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий : Тез. докл. I Всесоюз. семинара, 23-25 апр. 1991 г. / СССР. Ком. по науке и технике, Науч.совет по проблеме "Обработка конструкционных материалов пучками заряженных частиц", 1991. - 117 с. - Текст : непосредственный.Применение электронно-ионной технологии в народном хозяйстве : Тез. докл. IV Всесоюз. конф., 21-24 окт. 1991 г. / Московский энергетический ин-т, 1991. - 272 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽