Полное описание
>
Sputtering data / W.Eckstein,C.Garcia-Rosales,J.Roth,W.Ottenberger. - Garching ; M@:unchen : [s. n.], 1993. - 342 p. : ill. - (Berichte / Inst.fur Plasmaphysik ; IPP 9/82). - 100-00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце книги
| ГРНТИ | УДК | |
| 29.19.16 | 539.23 |
Рубрики:
Пленки -- Производство
Кл.слова (ненормированные): пленка
Доп. точки доступа:
Eckstein, W.
Garcia-Rosales, C.
Roth, J.
Ottenberger, W.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:
Edge fluctuations and global confinement with lower hybrid current drive in the ASDEX tokamak / J.Stockel,F.X.Soldner,L.Giannone и др., 1992. - 14 p. - Текст : непосредственный.Bartels H.W. Interaction of relativistic electrons with plasma facing components / H.W.Bartels, 1992. - 27 p. - Текст : непосредственный.Elfimov A.G. Toroidal plasmas permeability tensor and dissipation of fast waves(Methods of evaluation and some results) / A.G.Elfimov,Ф.М.Некрасов, 1992. - 20 p. - Текст : непосредственный.Expression for the thermal H-mode energy confinement time under ELM-free conditions / F.Ryter,O.Gruber,O.J.W.F.Kardaun и др., 1992. - 25 p. - Текст : непосредственный.Correa-Restrepo D. Negative-energy waves in an inhomogeneous force-free Vlasov plasma with sheared magnetic field / D.Correa-Restrepo,D.Pfirsch, 1992. - 46 p. - Текст : непосредственный.Pfirsch D. Energy of linear quasi-neutral electrostatic drift waves / D.Pfirsch,D.Correa-Restrepo, 1992. - 16 p. - Текст : непосредственный.Proceedings of the 5th workshop on Wendelstein 7-X, Schloss Ringberg,26-30 June,1992 / Workshop on Wendelstein 7-X (5 ; 1992 ; Schloss Ringberg) , 1992. - 156 p. - Текст : непосредственный.Reinke P. Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluss auf das Schichtwachstum von C:H-Schichten / P.Reinke, 1992. - 132 S. - Текст : непосредственный.Richter T. Beschreibung der Kuhlwasserkalorimetrie- und der Wandthermometriediagnostik am Tokamak ASDEX Upgrade / T.Richter,H.Vernickel, 1992. - 31 S. - Текст : непосредственный.Meyer-Spasche R. A free boundary eigenvalue problem / R.Meyer-Spasche, 1992. - 14 p. - Текст : непосредственный.Fussmann G. Teilchentransport in magnetisch eigeschlossenen Plasmen : Habilitationsschrift / G.Fussmann, 1992. - 156 S. - Текст : непосредственный.Throumoulopoulos G.N. Negative energy waves in a magnetically confined guiding center plasma / G.N.Throumoulopoulos,D.Pfirsch, 1993. - 6 p. - Текст : непосредственный.Electron and ion heat transport with lower hybrid current drive and neutral beam injection heating in ASDEX / F.X.Soldner,Г.В.Переверзев,R.Bartiromo и др., 1992. - 19 p. - Текст : непосредственный.Ott W. Spectroscopic determination of species and divergence of hydrogen beams in the W7AS neutral beam injectors / W.Ott,F.-P.Penningsfeld, 1993. - 24 p. - Текст : непосредственный.Ott W. Offset steering in multiamp ion sources-revisited / W.Ott, 1993. - 12 p. - Текст : непосредственный.new centrifuge high-speed pellet injector for ASDEX upgrade / P.T.Lang,C.Andelfinger,W.Beck и др., 1993. - 27 p. - Текст : непосредственный. Переверзев Г.В. Paraxial WKB solution of a scalar wave equation / Г.В.Переверзев, 1993. - 31 p. - Текст : непосредственный.Tasso H. Lyapunov stability of large systems of van der Pol-Like oscillators and connection with turbulence and fluctuations spectra / H.Tasso, 1993. - 9 p. - Текст : непосредственный.Schauer F. Transiente mechanische Storungen in intern gekuhlten Supraleiterkabeln:Stabilitatskriterium und Stabilitat des W 7-X-Prototypleiters von LMI / F.Schauer, 1993. - 30 S. - Текст : непосредственный.Kaiser R. Surface current equilibria from a geometric point of view / R.Kaiser,A.Salat, 1993. - 41 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВяткин А.Ф. Кинетические закономерности твердофазных процессов на поверхностях и межфазных границах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Ф. Вяткин, 1997. - 64 с. - Текст : непосредственный.Петухов В.Ю. Ионно-лучевой синтез тонких пленок в неметаллах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / В. Ю. Петухов, 1998. - 41 с. - Текст : непосредственный.Закутаев А.Н. Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.20,01.04.07 / А. Н. Закутаев, 1998. - 20 с. - Текст : непосредственный.Ломских Н.В. Моделирование термоактивируемой структурной перестройки в бинарных сплавах и гетерофазных системах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / Н. В. Ломских, 1998. - 19 с. - Текст : непосредственный.Добряков А.Л. Теоретическое исследование оптических и релаксационных (фемто) свойств пленок YBa Cu O Au, Cu и C : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.05 / А. Л. Добряков, 1999. - 23 с. - Текст : непосредственный.Фараджев Н.С. Структурный анализ поверхности методом дифракции квазиупруго рассеянных электронов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Н. С. Фараджев, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный.Чикирякин А.А. Разработка информационного обеспечения вакуумных процессов создания пленочных композиций : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / А. А. Чикирякин, 2000. - 16 с. - Текст : непосредственный.Степанов А.А. Математическое моделирование поверхностной диффузии в окрестности непрерывного фазового перехода : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.13.16 / А. А. Степанов, 2000. - 18 с. - Текст : непосредственный.Ниматов С.Ж. ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / С. Ж. Ниматов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.IBM Journal Research <& >Development / IBM. - Журнал выходит с 1957г. Sputtering data / W.Eckstein,C.Garcia-Rosales,J.Roth,W.Ottenberger, 1993. - 342 p. - Текст : непосредственный.Eckstein W. Computer simulation of ion-solid interactions / W.Eckstein, 1991. - 296 p. - Текст : непосредственный.Kwatera A. Modelowanie chemicznego procesu osadzania cienkich warstw z fazy gazowej w warunkach kontrolowanych dyfuzja reagentow do podloza / A.Kwatera, 1991. - 108 s. - Текст : непосредственный.Proceedings of the tenth molecularbeam epitaxy workshop Sept. 1989, Raleigh(NC) : Diazocopy(6) / Molecular-beam epitaxy workshop (10 ; 1989 ; Raleigh, NC) , 1990. - 392 мкфш. - Текст : непосредственный.Kleijn C.R. Transport phenomena in chemical vapor deposition reactors : Diss. / C.R.Kleijn, 1991. - IX,260 p. p. - Текст : непосредственный.Микроскопия лэнгмюровских монослоев под углом Брюстера: Брюстеровская микроскопия / А.А.Никитенко,В.В.Савранский,Л.В.Беловолова и др., 1992. - 34 с. - Текст : непосредственный.Physics of thin films. Advances in research and development / Ed.:G.Hass. Vol. 15 : Thin films for advanced electronic devices: Xerox.(3 kor.), 1991. - XII,332 p. p. - Текст : непосредственный.Structure of surfaces and interfaces as studied using synchrotron radiation : A general discussion on ..,Apr.4-6,1990 / Organising comm. prof. A.C. Legon (chairman) et al., 1990. - 341 p. - Текст : непосредственный.Головнев И.Ф. Квантовая модель элементарных процессов в молекулярно-лучевой эпитаксии. 1.Решение нестационарного уравнения Шредингера в потенциалах, моделирующих взаимодействие с поверхностью / И.Ф.Головнев,О.В.Хохлов, 1992. - 36 с. - Текст : непосредственный.Swihart M. analysis of flow, temperature and chemical composition distortion in gas sampling through an orifice during chemical vapor deposition / M.Swihart,S.L.Girshick, 1999. - 35 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыОсипов А.В. Кинетика зарождения тонких пленок из газовой фазы на твердых подложках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кад.физ.-мат.наук:01.02.04:01.04.07 / А. В. Осипов, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Майоров А.А. Разработка аппаратуры молекулярно-лучевой эпитаксии для научных исследований и технологий : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.01 / А. А. Майоров, 1993. - 42 с. - Текст : непосредственный.Шестопалов М.Ю. Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / М. Ю. Шестопалов, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Марков Ю.Г. Некоторые математические вопросы динамики роста тонких пленок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.01.07:01.01.11 / Ю. Г. Марков, 1995. - 17 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.А. Динамика потоков, образующихся при импульсном лазерном испарении мишеней из YBa Cu O ,Bi Sr CaCu O , PbTe(Ga) и Sn(Cu) : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:02.00.04 / В. А. Михайлов, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.Васенков А.В. Моделирование методом Монте-Карло взаимодействия электронного пучка с потоком газа низкой плотности при осаждении пленок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / А. В. Васенков, 1996. - 22 с. - Текст : непосредственный.Бесогонов В.В. Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / В. В. Бесогонов, 1996. - 18 с. - Текст : непосредственный.Григорьев Д.А. Кинетика роста и механизм формирования дисперсных частиц в упругих пространственно неоднородных средах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.02.04 / Д. А. Григорьев, 1997. - 19 с. - Текст : непосредственный.Петухов В.Ю. Ионно-лучевой синтез тонких пленок в неметаллах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / В. Ю. Петухов, 1998. - 41 с. - Текст : непосредственный.Закутаев А.Н. Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.20,01.04.07 / А. Н. Закутаев, 1998. - 20 с. - Текст : непосредственный.Чикирякин А.А. Разработка информационного обеспечения вакуумных процессов создания пленочных композиций : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / А. А. Чикирякин, 2000. - 16 с. - Текст : непосредственный.Жованник Е.В. Адгезия при лазерном напылении пленок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Е. В. Жованник, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Муленко С.А. Лазерно-индуцированные физико-химические процессы и осаждение элементов из паров металлорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук :01.04.21 / С. А. Муленко, 2002. - 45 с. - Текст : непосредственный.Шулунов В.Р. Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 01.04.14 / В. Р. Шулунов, 2002. - 24 с. - Текст : непосредственный.Шевчук С.Л. Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.27.01 / С. Л. Шевчук, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный.Капустин Е.Н. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.27.06 / Е. Н. Капустин, 2003. - 20 с. - Текст : непосредственный.Клюенков Е.Б. Получение пленок многокомпонентных материалов из эрозионной лазерной плазмы в химически активной газовой среде : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Е. Б. Клюенков, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный.Клюенков Е.Б. Получение пленок многокомпонентных материалов из эрозионной лазерной плазмы в химически активной газовой среде : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Е. Б. Клюенков, 2003. - 21 с. - Текст : непосредственный.Голосов Д.А. Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.27.06 / Д. А. Голосов, 2002. - 24 с. - Текст : непосредственный.Ozoguz Y. Zur Schichtkristallisation als Schmelzkristallsationsverfahren : Diss. / Y.Ozoguz, 1992. - 233 S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽