Приложение
для AndroidПолное описание
621.31/Б 438
Белоус, Анатолий Иванович. МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик. - Москва : ТЕХНОСФЕРА, 2024. - 618 с. : ил. - (Мир электроники ; VII-81). - Библиогр. в конце гл. - 500 экз. - ISBN 978-5-94836-688-3 : 1000 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 45.53 | 621.31-181.1 | |
| 621.31-181.1-047.56 |
Рубрики:
Микроэлектромеханические системы
Микроэлектромеханические системы -- Проектирование
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронная аппаратура -- датчики силы -- датчики давления -- мэмс-актюаторы -- мэмс-акселерометры -- мэмс-гироскопы -- технологии изготовления -- оптические мэмс -- корпусирование кристаллов
Аннотация: В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительно развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений - микроэлектромеханических систем (МЭМС). Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию - от студентов, аспирантов и преподавателей технических вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров - разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров - технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники. В восемнадцати тематических главах последовательно на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.
Доп. точки доступа:
Чижик, Сергей Антонович
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ПНТ (1), ХРЦ (1), ФО24 (1)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1), ФО24 (1)
Обложка
Заказ фрагмента документа ₽