Приложение
для AndroidПолное описание
621.3/С 288
Сейсян, Рубен Павлович (доктор технических наук ; 1936-2024). Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян. - Санкт-Петербург : ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2024. - 133 с. : ил. - Библиогр.: с. 128-133 (69 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7422-8528-1 : 150 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.3.049.77-047.84:776 | |
| 81.13.30 | 620.3 |
Рубрики:
Электронолитография
Нанотехнологии
Кл.слова (ненормированные): фотолитография -- микроэлектроника -- ультрафиолетовые лучи -- рентгеновские лучи -- интегральные схемы -- нанолитографы
Аннотация: Выполнен анализ тенденций развития микроэлектроники, в том числе основания известного закона Мура. Рассматривается роль в этом процессе фотолитографии и возможная роль в дальнейшем развитии микроэлектроники нанолитографии в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене. Обзор основан на обширном экспериментальном и теоретическом материале, на рассмотрении известных литературных данных, а также собственных работ автора и взаимодействующих с ним исследователей, главным образом вовлечённых в разработку нанолитографической системы, названной автором проектом ФТИ. Изложение охватывает основные элементы, входящие в построение ЭУФ- и МР-литографа. Такой подход даёт возможность рассмотрения проблемы с единых позиций, а также максимального приближения к актуальным отечественным задачам.
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХРЦ (2), ХРР (1)
Свободны: ХРЦ (2), ХРР (1)
Обложка
Мынбаев К.Д. Диффузионное и ионно-лучевое легирование Cd Hg Te : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / К. Д. Мынбаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Тысченко И.Е. Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физико-мат.наук:01.04.10 / И. Е. Тысченко, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Хаки Исмаиль Хаки Тахер.Воздействие радиационных дефектов на диффузию фосфора в имплантированном кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.10 / Хаки Исмаиль Хаки Тахер, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Белых Т.А. Особенности дефектообразования при имплантации ионов повышенной энергии в твердые тела : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Т. А. Белых, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный.Авдеев С.П. Разработка электронно-лучевой технологии изготовления малошумящих микроканальных пластин : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.05 / С. П. Авдеев, 1997. - 22 с. - Текст : непосредственный.Чернова Н.А. Примесные состояния иттербия в сплавах на основе теллурида свинца : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.09 / Н. А. Чернова, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Щербакова Е.Н. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Е. Н. Щербакова, 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный.Барабаненков М.Ю. Кинетика химической стадии ионно-лучевой модификации кремния и оптические мезоскопические эффекты в ионно-модифицированных структурах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:05.27.01 / М. Ю. Барабаненков, 2001. - 46 с. - Текст : непосредственный.Гумаров Г.Г. Ионно-лучевой синтез силицидов металлов подгруппы железа в кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Г. Г. Гумаров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Джабраилов Т.А. Влияние преципитации и изоэлектронной ионной имплантации на дефектообразование в монокристаллическом кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Т. А. Джабраилов, 2001. - 17 с. - Текст : непосредственный.Ефимов А.А. Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.14 / А. А. Ефимов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Изюмов М.О. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / М. О. Изюмов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Стук А.А. Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.05 / А. А. Стук, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Кабышев А.В. Ионно-термическая модификация неорганических диэлектриков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук :01.04.07 / А. В. Кабышев, 2001. - 42 с. - Текст : непосредственный.Лысенко Л.Н. Использование нейтральных примесей, компенсированных основой, для производства монокристаллов кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Л. Н. Лысенко, 2001. - 25 с. - Текст : непосредственный.Терентьев С.А. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.09.10,05.27.01 / С. А. Терентьев, 2002. - 16 c. - Текст : непосредственный.Бердников А.Е. Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. Е. Бердников, 2001. - 38 с. - Текст : непосредственный.Волкова С.М. Получение молекулярных пленок на основе тетракис-хелатных комплексов и аддуктов редкоземельных элементов и исследование их свойств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук :02.00.04 / С. М. Волкова, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыГайфуллин Б.Н. Система подготовки данных для электронно-лучевой литографии : Препринт / Б.Н.Гайфуллин, 1993. - 20 c. - Текст : непосредственный.Nanotechnology:Cumulation on CD-ROM. 1990-1995,Vol.1-6, 1996. - 1 оптич.диск.Неволин В.К. Основы туннельно-зондовой нанотехнологии : Учеб. пособие / В.К.Неволин, 1996. - 91 с. - Текст : непосредственный.Реутов В.Ф. Применение трековых мембран в нанотехнологии / В.Ф.Реутов,С.Н.Дмитриев, 1998. - 14 с. - Текст : непосредственный.Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный.Марголин В.И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб.пособие / В.И.Марголин,В.А.Тупик, 2000. - 55 с. - Текст : непосредственный.Hiroshima H. Sinopsis / H.Hiroshima, 2000. - II,55 p. p. - Текст : непосредственный.Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный.Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный.Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный.Лускинович П.Н. Нанотехнологии XXI века : Аналит. обзор / П. Н. Лускинович, П. В. Иванов, И. В. Волкова, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Битюков В.К. Нанотехнологии. Введение в дисциплину : Учеб.пособие / В. К. Битюков, Б. А. Голоденко, А. Б. Голоденко, 2002. - 63 с. - Текст : непосредственный.Битюков В.К. Нанотехнологии : Принципы, методы и реализации: Учеб. пособие / В.К.Битюков,Б.А.Голоденко, 2003. - 191 с. - Текст : непосредственный.Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный.Головин Ю.И. Введение в нанотехнологию : Учеб. пособие / Ю.И.Головин, 2003. - 111 с. - Текст : непосредственный.Илюшин В.А. Процессы нанотехнологии : Учеб. пособие / В.А.Илюшин,А.А.Величко, 2004. - 107 с. - Текст : непосредственный.Пул Ч. Мир материалов и технологий. Нанотехнологии : учеб.-монография / Ч.Пул,Ф.Оуэнс;Пер. с англ. под ред. Ю.И. Головина , 2004. - 327 с. - Текст : непосредственный.Nanostructures and photon crystals : Collective monograph alter the materials of plenary reports of the 10th International conference "High Technology In Russian Industry", (Russia, Moscow, 2004 September 9-11) / "High Technology In Russian Industry",international conference (10 ; 2004 ; Moscow), 2004. - 323 p. - Текст : непосредственный.Нанотехнология : Простое объяснение очередной гениальной идеи / М. Ратнер, Д. Ратнер, 2004. - 234 с. - Текст : непосредственный.Ведение в нанотехнологию / Н. Кобаяси, 2005. - 134 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. П. Михайлов, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Архангельский А.Б. Разработка высокопроизводительных алгоритмов и инструментальных средств подготовки управляющих программ для фотонаборных установок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13:05.13.16 / А. Б. Архангельский, 1995. - 24 с. - Текст : непосредственный.Кольцов Ю.И. Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.04 / Ю. И. Кольцов, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный.Борзенко Т.Б. Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / Т. Б. Борзенко, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.Егоров А.Ю. Прямое получение полупроводниковых квантовых проволок и точек методом молекулярно-пучковой эпитаксии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.10 / А. Ю. Егоров, 1996. - 21 с. - Текст : непосредственный.Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный.Кривоспицкий А.Д. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / А. Д. Кривоспицкий, 1997. - 38 с. - Текст : непосредственный.Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Балашов В.Н. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / В. Н. Балашов, 1998. - 39 с. - Текст : непосредственный.Гайнуллина Н.Р. Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21 / Н. Р. Гайнуллина, 1998. - 15 с. - Текст : непосредственный.Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный.Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный.Мальцев В.П. Адгезия фоторезистов и ее влияние на процессы фотолитографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. П. Мальцев, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Гайфуллин Б.Н. Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Диссертация на соискание ученой степени канд.техн.наук в форме науч.докл.:05.13.18 / Б. Н. Гайфуллин, 2000. - 33 л. - Текст : непосредственный.Ивин В.В. Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный.Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный.Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.Соколов Д.В. Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.01 / Д. В. Соколов, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽