• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Д11-22/12707
    621.31/К 672
     Корнеев, Владимир Станиславович. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения / В. С. Корнеев, Д. В. Чесноков ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Сибирский государственный университет геосистем и технологий (СГУГиТ). - Новосибирск : СГУГиТ, 2022. - 170 с. : ил. - Библиогр.: с. 147-170 (224 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-907513-88-4 : 200 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    45.53621.31-181.4
    29.31.29681.7-022.52

    Рубрики:
    Микроэлектромеханические системы
    Оптические приборы

    Кл.слова (ненормированные): управление оптическим излучением -- дефлекторы -- микросистемные технологии -- микросистемные устройства -- метаприборы -- управление подвижными элементами -- моэмс -- тонкопленочные мембраны -- тонкопленочные волноводы
    Аннотация: Микромеханика - отрасль современной науки и техники, в основе которой лежат технологии объемной и поверхностной обработки кремниевых пластин, применяемые в микроэлектронике. С помощью этих технологий можно изготавливать устройства с микро-размерными подвижными элементами. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства, управляемые внешним воздействием (электростатическим, электромагнитным, пьезоэлектрическим и т. д.), которые могут выполнять функции измерения и контроля параметров природных и техногенных объектов, а также решать задачи управления потоками излучения. Монография обобщает многолетний опыт. прикладных работ в области микромеханики, выполненных в соавторстве и отдельно друг от друга и опубликованных в материалах научно-технических конференций и периодических изданиях. Значительная часть оригинальных результатов, представленных в монографии, получены в соавторстве с коллективом УНЛ ФОПМ СГУГиТ и под руководством д. т. н., профессора В. В. Чеснокова.
    Доп. точки доступа:
    Чесноков, Дмитрий Владимирович
    Сибирский государственный университет геосистем и технологий (Новосибирск)
    Экз-ры полностью Д11-22/12707
    Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ХРЦ (1)
    Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)
    Обложка



    Заказ фрагмента документа ₽