• ВХОД
  •  

    Полное описание

    W8873/Vol.13,N 6,1995
    International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (39 ; 1995 ; S.l.). Papers from the 39th International conference on electron,ion and photon beam technology and nanofabrication / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (39 ; 1995 ; S.l.) . - Woodbury(NY), 1995. - A22,2153-3235 p. p. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; vol.13,N 6,1995). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей
    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7(062)
    47.13.33621.3.049.76.002(062)

    Рубрики:
    Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): электронно-ионная обработка -- микроэлектронный приборЭкз-ры полностью W8873/Vol.13,N 6,1995
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽