• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар21-4301
    621.382/З-378
    Зау Пхо Аунг. Повышение адгезии металлических покрытий на нитриде алюминия при нанесении магнетронной распылительной системой с горячей мишенью : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Зау Пхо Аунг ; Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана. - Москва : [б. и.], 2021. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16 (12 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.382-047.84:621.793(043)

    Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- производство -- металлизация распылением -- керамические подложки -- соединение металл-керамика
    Доп. точки доступа:
    Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
    Экз-ры полностью Ар21-4301
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽