Полное описание
>
621.382/З-378
Зау Пхо Аунг. Повышение адгезии металлических покрытий на нитриде алюминия при нанесении магнетронной распылительной системой с горячей мишенью : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Зау Пхо Аунг ; Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана. - Москва : [б. и.], 2021. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16 (12 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.382-047.84:621.793(043) |
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- производство -- металлизация распылением -- керамические подложки -- соединение металл-керамика
Доп. точки доступа:
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Вестник Московского государственного технического университета имени Н.Э.Баумана : научно-теоретический и прикладной журнал. Серия, Машиностроение / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 1990г. - Текст : непосредственный.Вестник Московского государственного технического университета имени Н.Э.Баумана : научно-теоретический и прикладной журнал. Серия, Приборостроение / Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 1990г. - Текст : непосредственный.Машиностроение : научно-технический журнал / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 1958г. - Текст : непосредственный.Двигателестроение : межотраслевой научно-технический журнал / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 1979г. - Текст : непосредственный.Контрольно-измерительные приборы и системы.КИПиС : журнал / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 1997г. - Текст : непосредственный.Вестник Московского государственного технического университета имени Н.Э.Баумана : научно-теоретический и прикладной журнал. Серия , Естественные науки / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 1998г. - Текст : непосредственный.Лесной вестник : научно-информационный журнал / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 1997г. - Текст : непосредственный.Туманов, Анатолий Васильевич. Особенности проектирования унифицированных систем управления движением космических аппаратов : учебное пособие / А. В. Туманов, В. В. Зеленцов, Э. Д. Суханов, 2002. - 106, [1] с. - Текст : непосредственный.Математическое моделирование и численные методы : научно-теоретический журнал широкого профиля / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана. - Журнал выходит с 2014г. - Текст : непосредственный.Корягина, Ольга Михайловна. Основные виды запорной арматуры и правила их изображений : учебное пособие / О. М. Корягина, И. И. Македон, Е. С. Эрастова, 2015. - 81 с. - Текст : непосредственный.Туманов, Анатолий Васильевич. Основы компоновки бортового оборудования космических аппаратов : учебное пособие / А. В. Туманов, В. В. Зеленцов, Г. А. Щеглов, 2018. - 572 с. - Текст : непосредственный.Каталог инновационных разработок участников Московского молодежного научного форума : 21-24 ноября 2017 г., Москва / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана [и др.], 2017. - 168 с.Белоус В.В. Проектирование и реализация пользовательских приложений для работы с базами данных : учебно-методическое пособие для изучения раздела "Фаза проектирования информационных систем" дисциплины "Разработка информационных систем" / В. В. Белоус, Н. В. Пивоварова, Е. М. Смирнова, 2017. - 22 с.Богатство России : Всероссийский форум научной молодежи, 4-6 декабря 2017 г. : сборник докладов / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2018. - 342 с. - Текст : непосредственный.Труды Московского государственного технического университета им. Н. Э. Баумана. № 616 : Актуальные проблемы разработки средств поражения и боеприпасов : сборник научных статей, посвященный 80-летию кафедры "Высокоточные летательные аппараты", 2018. - 326 с.Преподавание информационных технологий в Российской Федерации : материалы Шестнадцатой открытой Всероссийской конференции (Москва, 14-15 мая 2018 г.) / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, Ассоциация предприятий компьютерных и информационных технологий (АПКИТ), 2018. - 417 с.Акустика среды обитания : третья всероссийская конференция молодых ученых и специалистов АСО-2018 : сборник трудов / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 2018. - 274 с. - Текст : непосредственный.Лазеры в науке, технике, медицине : сборник научных трудов / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана [и др.]. Т. 29 : XXIX Международная конференция, 16-18 мая 2018 г., Москва / под ред. В. А. Петрова, 2018. - 273 с. - Текст : непосредственный.Организация и управление твердыми коммунальными отходами города в рамках экологического менеджмента : монография / В. Г. Ларионов [и др.], 2018. - 365 с. - Текст : непосредственный.Алгоритмы обработки информации навигационных систем и комплексов летательных аппаратов / М. С. Селезнева [и др.], 2018. - 236 с.
Показать все результатыХимическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.Оскар Хосе Араика Ривера.Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Оскар Хосе Араика Ривера, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, модель DAD-2H/6T, DAD-2H/6TM (Часть II) / ВЦП. - 124 c. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы.В 2-х кн. / ВЦП. - 106 с. - Текст : непосредственный.Диффузионная сварка кремния / ВЦП. - 9 c. - Текст : непосредственный.Ангер Вакумат. Документация / ВЦП. - 41 c. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Волков А.Б. Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Аршук Е.П. Автоматизация финишной обработки выпрямительных полупроводниковых диодов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / Е. П. Аршук, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кривошеев Ю.К. Процессы тепло- и массопереноса в технологиях газофазного синтеза материалов для волоконной оптики и микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / Ю. К. Кривошеев, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыБарг А.И. Фазообразование и диффузия в тонких аморфных пленках Ni-Nb на кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. И. Барг, 1992. - 21 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Weidner J.-O. Charakterisierung der Zuverlassigkeit von sub-мm AlSiCu/TiN/Ti/n-Si- Kontakten bei hochbeschleunigten Lebensdauertests : Diss. / J.-O.Weidner, 1999. - 102 S. - Текст : непосредственный.Разработка способов оптимизации технологии металлизации полупроводниковых структур : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.27.01 / Х. М. Гукетлов, 2004. - 17 с. - Текст : непосредственный.Механизмы деградационных процессов и оплавления в системах металлизации на кремнии при импульсных токовых воздействиях : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / В. В. Рыбин, 2006. - 19 с. - Текст : непосредственный.Зау Пхо Аунг.Повышение адгезии металлических покрытий на нитриде алюминия при нанесении магнетронной распылительной системой с горячей мишенью : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Зау Пхо Аунг, 2021. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽